[发明专利]一种实验室用永久性气体露点调节方法在审

专利信息
申请号: 201410258796.0 申请日: 2014-06-11
公开(公告)号: CN104007003A 公开(公告)日: 2014-08-27
发明(设计)人: 李为;董恩乐;方正兴;尹敏 申请(专利权)人: 陕西天宏硅材料有限责任公司
主分类号: G01N1/38 分类号: G01N1/38;G01N1/44;G05D27/02
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 712038 陕西*** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 一种 实验室 永久性 气体 露点 调节 方法
【权利要求书】:

1.一种实验室用永久性气体露点调节方法,其特征在于,包括以下步骤:

步骤1)、原料永久性气体通过外界系统送至原气储气罐;

步骤2)、对步骤1)中原气储气罐出来的的永久性气体通过预热器预热;

步骤3)、经预热器预热后的气体通过第一个调节阀后,分成两路进入配比系统,其中配比系统包括两路管道;

其中一路预热后的气体进入加湿器加湿,加湿后的气体进入气体混合管道;另外一路预热后的气体通过第二个调节阀调整后,同样进入气体混合管道;

步骤4)、将上述步骤3)所述的气体混合管道中的两路气体配比混合均匀;

步骤5)、配比好的气体从步骤4)中的气体混合管道的出口管进入成品气罐缓冲,并在成品气罐后侧接入使用单元。

2.根据权利要求1所述的一种实验室用永久性气体露点调节方法,其特征在于,所述步骤5)中的成品气罐上装有一个压力传感器及出口管道上装有一个流量计,用于反馈后端的用气情况,并且提供信号控制上述步骤3)中的第一个调节阀的动作,调节用气流量。

3.根据权利要求1所述的一种实验室用永久性气体露点调节方法,其特征在于,所述步骤3)中气体混合管道上的露点测试仪的信号反馈PLC控制器内,并通过第二个气量调节阀来实现露点的自动配比。

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