[发明专利]用于气体集成输送系统的质量流量控制装置、系统及方法有效
申请号: | 201410260738.1 | 申请日: | 2014-06-12 |
公开(公告)号: | CN104076830B | 公开(公告)日: | 2018-05-01 |
发明(设计)人: | 牟昌华;尼尔森·乌提纳托;杨宇;王瑞 | 申请(专利权)人: | 北京七星华创电子股份有限公司 |
主分类号: | G05D7/06 | 分类号: | G05D7/06 |
代理公司: | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)31275 | 代理人: | 吴世华,陈慧弘 |
地址: | 100016 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 气体 集成 输送 系统 质量 流量 控制 装置 方法 | ||
1.一种质量流量控制装置,包括输入端、输出端、传感器单元、流量控制阀以及控制单元,所述控制单元根据所述输入端接收的实际设定信号及所述传感器单元输出的流量检测信号产生开度控制信号并输出至所述流量控制阀,其特征在于,所述控制单元包括:
A/D转换器,用于将所述实际设定信号转换为第一数字信号,将所述流量检测信号转换为第二数字信号;
微处理器,与所述A/D转换器相连,其包括:
存储模块,用于存储修正参数,所述修正参数表征从所述质量流量控制装置外部的客户终端发出的目标设定信号和所述质量流量控制装置接收的所述实际设定信号的固有误差值,该固有误差不因所述目标设定信号的变化而改变;
设定信号校准模块,根据所述修正参数对所述第一数字信号进行修正;
计算模块,根据修正后的所述第一数字信号以及所述第二数字信号的偏差进行运算以产生控制信号;以及
误差值读取模块,其与所述A/D转换器和所述存储模块相连,用于在所述目标设定信号为0时依据一触发信号读取所述A/D转换器输出的第一数字信号并存储至所述存储模块中作为所述修正参数;以及
阀控制电路,与所述微处理器相连,用于根据所述控制信号产生所述开度控制信号以控制所述流量控制阀。
2.根据权利要求1所述的质量流量控制装置,其特征在于,所述控制单元还包括:
流量信号校准模块,位于所述微处理器中并与所述A/D转换器及所述存储模块相连,用于根据所述修正参数对所述第二数字信号进行修正;
信号处理单元,与所述微处理器相连,用于将修正的所述第二数字信号转换为流量输出信号并通过所述输出端输出至所述质量流量控制装置外部。
3.根据权利要求2所述的质量流量控制装置,其特征在于,所述信号处理单元为D/A转换器或滤波器。
4.根据权利要求1所述的质量流量控制装置,其特征在于,所述设定信号校准模块通过将所述第一数字信号加上所述修正参数以对所述第一数字信号进行修正。
5.根据权利要求2所述的质量流量控制装置,其特征在于,所述流量信号校准模块通过将所述第二数字信号加上所述修正参数以对所述第二数字信号进行修正。
6.根据权利要求1所述的质量流量控制装置,其特征在于,所述触发信号依据一按键动作或一旋钮动作产生。
7.一种质量流量控制系统,其特征在于,包括权利要求1所述的质量流量控制装置以及一客户终端,其中所述客户终端包括:
目标信号输出端口,通过第一信号传输线与所述质量流量控制装置的输入端连接,用于输出所述目标设定信号;
接地端口,通过地线与所述质量流量控制装置的接地端连接。
8.根据权利要求7所述的质量流量控制系统,其特征在于,
所述质量流量控制装置的控制单元还包括:
流量信号校准模块,位于所述微处理器中并与所述A/D转换器及所述存储模块相连,用于根据所述修正参数对所述第二数字信号进行修正;
信号处理单元,与所述微处理器相连,用于将修正的所述第二数字信号转换为流量输出信号并通过所述输出端输出至所述质量流量控制装置外部;
所述客户终端还包括流量信号输入端口,通过第二信号传输线与所述质量流量控制装置的输出端连接,用于接收所述流量输出信号。
9.一种质量流量控制方法,应用于一质量流量控制装置,其特征在于,包括以下步骤:
从外部的客户终端接收实际设定信号;
检测流路内的流体流量并输出流量检测信号;
将所述实际设定信号转换为第一数字信号以及将所述流量检测信号转换为第二数字信号;
根据修正参数对所述第一数字信号进行修正,所述修正参数表征从所述外部的客户终端发出的目标设定信号和所述质量流量控制装置接收的所述实际设定信号的固有误差值,该固有误差不因所述目标设定信号的变化而改变;
根据修正后的所述第一数字信号以及所述第二数字信号的偏差进行运算以产生控制信号;以及
根据所述控制信号产生开度控制信号并作用于流量控制阀以控制流体的流量;
其中所述修正参数通过以下方法获得:
设定目标设定信号为0;
接收该为0的目标设定信号所对应的实际设定信号并将其转换为数字信号;以及
依据一触发信号读取该数字信号并存储以作为所述修正参数。
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