[发明专利]固态摄像装置、电子设备以及固态摄像装置的制造方法

权利要求书

1.一种固态摄像装置，包括：

光电转换器，形成在基板上；

布线部分，形成在所述光电转换器上方并由多层布线构成；

硅氧化物，所述布线部分的所述多层布线嵌入所述硅氧化物中；以及

绝缘部分，在所述光电转换器的上方，从所述布线部分上方的位置到最下层布线的位置嵌入所述硅氧化物中，所述绝缘部分的折射率大于所述硅氧化物的折射率。

2.根据权利要求1所述的固态摄像装置，其中所述绝缘部分由选自由氮化硅、氮氧化硅、氧化铪和氧化钽组成的组的材料制成。

3.一种电子设备，包括：

固态摄像装置，输出相应于所接收的光量的电信号；以及

信号处理装置，处理从所述固态摄像装置输出的所述电信号，

其中所述固态摄像装置包括：

光电转换器，形成在基板上；

布线部分，形成在所述光电转换器上方并由多层布线构成；

硅氧化物，所述布线部分的所述多层布线嵌入所述硅氧化物中；以及

绝缘部分，在所述光电转换器上方，从所述布线部分上方的位置到最下层布线的位置嵌入所述硅氧化物中，所述绝缘部分的折射率大于所述硅氧化物的折射率。

4.一种固态摄像装置的制造方法，包括：

在基板上形成光电转换器；

在所述基板上形成驱动元件，在所述驱动元件上形成绝缘膜，以及平坦化形成的表面；

通过以下步骤形成具有波导部分的布线层：在所述绝缘膜上形成嵌入层间绝缘膜中的布线，形成设置在所述层间绝缘膜的所述光电转换器上方的部分中的凹入部分，以及形成通过在所述凹入部分中嵌入折射率大于硅氧化物的折射率的材料而形成的所述波导部分；以及

重复执行所述具有波导部分的布线层的形成，从而通过形成所述多层布线和连接多个波导部分来形成光波导。

5.根据权利要求4所述的固态摄像装置的制造方法，其中嵌入所述凹入部分的所述材料选自由氮化硅、氮氧化硅、氧化铪和氧化钽组成的组。