[发明专利]一种制备组合薄膜材料库的装置与方法

权利要求书

1.一种制备组合薄膜材料库的装置，其特征在于由组合脉冲激光镀膜机、激光器、计算机、复合分子泵和双级旋片泵组成；所述的组合脉冲激光镀膜机由RHEED电子枪、预抽管路、步进电机、靶材选择回转机构、RHEED荧光屏与CCD图像传感器、激光窗、基片架、掩膜架、伺服电机和真空室组成；所述的激光器、RHEED电子枪、步进电机和伺服电机均与计算机连接并由计算机控制；所述的复合分子泵与真空室相连，双级旋片泵与预抽管路相连，复合分子泵和双级旋片泵之间通过阀门相连，激光器与激光窗在同一轴线上相对设置；

所述的步进电机控制靶材选择回转机构，伺服电机控制掩膜架，靶材固定在靶材选择回转机构上，掩膜装卡在掩膜架上，基片固定在基片架上，靶材与基片位于同一轴线上，二者之间距离保持在70mm，掩膜位于靶材和基片之间靠近基片表面的位置，与基片保持5mm的距离；

所述的靶材选择回转机构由靶座、靶材、大棘爪、大棘轮、小棘轮、靶材传动轴、小棘爪、小齿轮和大齿轮组成；所述的小棘轮和大齿轮与靶材传动轴连接，大棘轮与靶材传动轴配合，小齿轮均布在大棘轮上，靶座与小齿轮轴为螺纹连接，成为一体进行同步运动，靶材安装在靶座表面，小棘爪安装在小棘轮周围，与小棘轮啮合，所述的大棘爪安装在大棘轮周围，与大棘轮啮合。

2.根据权利要求1所述的一种制备组合薄膜材料库的装置，其特征在于所述的激光器和激光窗的轴线与处于工作位置的靶材表面成45°，且通过靶材圆心。

3.根据权利要求1所述的一种制备组合薄膜材料库的装置，其特征在于所述的RHEED荧光屏与CCD图像传感器和RHEED电子枪分别位于基片水平两侧，二者的轴线都与基片表面呈3°角且相交于基片表面。

4.根据权利要求1所述的一种制备组合薄膜材料库的装置，其特征在于所述的基片架是空心圆筒状结构，圆筒内安装有加热丝。

5.根据权利要求1所述的一种制备组合薄膜材料库的装置，其特征在于所述的小棘轮和大齿轮与靶材传动轴通过键连接，与靶材传动轴同步转动。

6.根据权利要求1所述的一种制备组合薄膜材料库的装置，其特征在于所述的大棘轮与靶材传动轴为间隙配合，与靶材传动轴相对转动。

7.根据权利要求1所述的一种制备组合薄膜材料库的装置，其特征在于所述的小齿轮轴与大棘轮之间的配合为间隙配合，二者相对转动。