[发明专利]一种全金属电容极板微加速度传感器

权利要求书

1.一种全金属电容极板微加速度传感器，其特征在于：所述的传感器包括上固定极板（16）、下固定极板（17）、动极板（11）；其中，动极板（11）含有锚点（1）、悬臂梁（4）、质量块（5）、上表面动电极（65）、下表面动电极（66）、锚点上键合面（61）、锚点下键合面（62）、上传输电极（63）、下传输电极（64）、框架（12）、引线盘（14）；上固定极板（16）含有上限位凸台（81）、上键合面（71）、上引线盘（13）、上基板（2）；下固定极板（17）含有下限位凸台（82）、下键合面（72）、下引线盘（15）、下基板（3）；其连接关系是，所述的锚点（1）与锚点上键合面（61）、锚点下键合面（62）分别固定连接；所述的锚点（1）与悬臂梁（4）固定连接；所述的锚点（1）与框架（12）、引线盘（14）分别固定连接；所述的悬臂梁（4）与上传输电极（63）、下传输电极（64）分别固定连接；所述的悬臂梁（4）与质量块（5）固定连接；所述的质量块（5）与上表面动电极（65）、下表面动电极（66）分别固定连接；所述的上固定极板（16）与上限位凸台（81）固定连接；所述的上限位凸台（81）与上键合面（71）固定连接；所述的上引线盘（13）与上基板（2）固定连接；所述的下固定极板（17）与下限位凸台（82）固定连接；所述的下限位凸台（82）与下键合面（72）固定连接；所述的下引线盘（15）与下基板（3）固定连接；所述的动极板（11）与上固定极板（16）、下固定极板（17）分别通过键合连接。

2.根据权利要求1所述的全金属电容极板微加速度传感器，其特征在于：所述的动极板（11）与上固定极板（16）、下固定极板（17）之间的上间隙（101）、下间隙（102）分别通过上限位凸台（81）、下限位凸台（82）设置。

3.根据权利要求1所述的全金属电容极板微加速度传感器，其特征在于：所述的动极板（11）与上固定极板（16）通过锚点上键合面（61）、上键合面（71）固定连接。

4.根据权利要求1所述的全金属电容极板微加速度传感器，其特征在于：所述的动极板（11）与下固定极板（17）通过锚点下键合面（62）、下键合面（72）固定连接。

5.根据权利要求1所述的全金属电容极板微加速度传感器，其特征在于：所述的上表面动电极（65）、下表面动电极（66）、锚点上键合面（61）、锚点下键合面（62）、上传输电极（63）、下传输电极（64）、上键合面（71）、下键合面（72）、上固定电极（91）与下固定电极（92）厚度均相同。