[发明专利]光电转换设备以及光电转换设备的制造方法有效
申请号: | 201410263602.6 | 申请日: | 2014-06-13 |
公开(公告)号: | CN104241305B | 公开(公告)日: | 2017-04-12 |
发明(设计)人: | 渡边高典;三木崇史;饭田聪子;小林昌弘;岩田旬史 | 申请(专利权)人: | 佳能株式会社 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所11038 | 代理人: | 康建忠 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光电 转换 设备 以及 制造 方法 | ||
1.一种光电转换设备,包括:
半导体基板;
设置在所述半导体基板中的包括第一导电类型的第一半导体区域和第二半导体区域的光电转换部;以及
被配置用于传送第一半导体区域和第二半导体区域的电荷的传送部,
其中,第一半导体区域沿平行于半导体基板的表面的第一方向延伸,
其中,第一半导体区域包括具有与第一半导体区域的不同部分的杂质浓度相比较低的杂质浓度的部分,
其中,第二半导体区域设置在该具有较低的杂质浓度的部分之下,以及
其中,第一半导体区域的沿第一方向的长度大于第二半导体区域的沿第一方向的长度。
2.根据权利要求1所述的光电转换设备,还包括:
设置在第一半导体区域之上的第二导电类型的第三半导体区域。
3.根据权利要求1所述的光电转换设备,其中,该具有较低的杂质浓度的部分在平行于半导体基板的表面的平面上的正交投影和第二半导体区域在该平面上的正交投影相互一致。
4.根据权利要求1所述的光电转换设备,其中,该具有较低的杂质浓度的部分在平行于半导体基板的表面的平面上的正交投影包围第二半导体区域在该平面上的正交投影。
5.根据权利要求1所述的光电转换设备,其中,第二半导体区域在平行于半导体基板的表面的平面上的正交投影包围该具有较低的杂质浓度的部分的在该平面上的正交投影。
6.根据权利要求1所述的光电转换设备,
其中,传送部包括传送栅极电极,以及
其中,从第二半导体区域在平行于半导体基板的表面的平面上的正交投影的中心到传送栅极电极在该平面上的正交投影的距离小于从第一半导体区域在该平面上的正交投影的中心到传送栅极电极在该平面上的正交投影的距离。
7.一种光电转换设备,包括:
半导体基板;
设置在所述半导体基板中的包括第一导电类型的第一半导体区域和第二半导体区域的光电转换部;
被配置用于传送第一半导体区域和第二半导体区域的电荷的传送部;
设置在第一半导体区域之上的第二导电类型的第三半导体区域;以及
第二导电类型的第四半导体区域,
其中,第一半导体区域包括第一部分和与第一部分不同的第二部分,
其中,第一部分、第二部分以及第四半导体区域设置在相同深度处,
其中,第一部分、第四半导体区域以及第二部分沿与半导体基板的表面平行的第一方向依次布置,
其中,第二半导体区域设置在第四半导体区域之下,以及
其中,第一半导体区域的沿第一方向的长度大于第二半导体区域的沿第一方向的长度。
8.根据权利要求7所述的光电转换设备,其中,第二半导体区域在平行于半导体基板的表面的平面上的正交投影和第四半导体区域在该平面上的正交投影相互一致。
9.根据权利要求7所述的光电转换设备,其中,第二半导体区域在平行于半导体基板的表面的平面上的正交投影包围第四半导体区域在该平面上的正交投影。
10.根据权利要求7所述的光电转换设备,其中,第四半导体区域在平行于半导体基板的表面的平面上的正交投影包围第二半导体区域在该平面上的正交投影。
11.根据权利要求7所述的光电转换设备,
其中,传送部包括传送栅极电极,以及
其中,从第二半导体区域在平行于半导体基板的表面的平面上的正交投影的中心到传送栅极电极在该平面上的正交投影的距离小于从第一半导体区域在该平面上的正交投影的中心到传送栅极电极在该平面上的正交投影的距离。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的