[发明专利]用于较高能量重离子束流诊断的位置灵敏探测器

权利要求书

1.一种用于较高能量重离子束流诊断的位置灵敏探测器，其特征在于包括有气体密封腔内设有束流探头，束流探头固连于端口密封法兰组件的固定支架上；气体密封腔包括有在气盒的一侧设有入射窗，在另一侧设有出射窗；束流探头由两组束流测量单元组成，每组束流测量单元由高压极、绝缘垫板和信号极顺序排列组成；端口密封法兰组件由固定支架和端口密封法兰组成；多路信号引出转接板包括有多路信号引出板和多路信号转接板；多路信号转接板的一端设有接触端插入密封法兰的密封口与多路信号引出板的信号输出端连接，另一端设有多芯连接器为束线位置灵敏探测器的信号输出端口，多路信号引出板的信号输入端与束流探头的信号极相连；

所述的束流探头高压极是有效面积为30×50-85×150mm²的导电薄膜框，导电薄膜框为带有导电极的环氧树脂镀铝板框架和导电薄膜组成，其中导电薄膜是单面或双面镀铝聚酰亚胺膜，导电薄膜的厚度为2-25μm；

或所述的束流探头高压极是有效面积为30×50-85×150 mm²的镀金钨丝丝网框，镀金钨丝丝网框为带有导电极的环氧树脂板镀金钨丝框架和镀金钨丝丝网组成，其中镀金钨丝丝网上每根镀金钨丝直径为10-50μm，相互间隔为1mm，相对框架边框斜45度角度布丝；

当所述的束流探头的高压极为导电薄膜框，其有效面积为30×50-85×150mm²，其工作区域在电离区；

当所述的束流探头的高压极为镀金钨丝丝网框，其有效面积为30×50-85×150 mm²，其工作区域在电离区或正比区或二次电子区；

所述的端口密封法兰的一侧设有气体流入口、气体流出/真空抽气口和真空度测量口，真空度测量口设有法兰与真空规管连接；在端口密封法兰上还设有高压口，高压导线穿过高压口与束流探头的高压极电连接。

2.如权利要求1所述的用于较高能量重离子束流诊断的位置灵敏探测器，其特征在于所述的束流探头的信号极由有效面积为30×50-85×150mm²、厚度为0.15-0.3mm的双层硬质PCB板上设有的多路信号条组成，每路信号条由2条分别置于硬质PCB板两面同一位置上的宽度为0.3-5mm、厚度为18-70μm的铜箔连接构成，其中每路信号条的间距为0.1-0.4mm。

3.如权利要求1所述的用于较高能量重离子束流诊断的位置灵敏探测器，其特征在于所述的束流探头中的所述的两组束流测量单元，第一组信号极上信号条与第二组信号极上信号条的方向互相垂直。

4.如权利要求1所述的用于较高能量重离子束流诊断的位置灵敏探测器，其特征在于所述的束流探头中的两组束流测量单元之间和高压极与信号极之间距离为绝缘垫板的厚度0.5-6mm；所述的绝缘垫板为电阻阻值大于10¹⁶Ω的聚四氟乙烯板。

5.如权利要求1所述的用于较高能量重离子束流诊断的位置灵敏探测器，其特征在于所述的多路信号引出板是厚度为0.15-0.5mm的柔性软板，由多路导线组成，每路导线的输入端与束流探头电极板上的信号条一一对应连接，导线的输出端与多路信号转接板的输入端相连接；所述的多路信号转接板的信号输出端设有多芯连接器为信号输出端。

6.如权利要求1所述的用于较高能量重离子束流诊断的位置灵敏探测器，其特征在于所述的端口密封法兰组件的端口密封法兰与气体密封腔的气盒法兰接触部位设有橡胶圈，其密封口与多路信号引出转接板的多路信号转接板之间通过真空胶密封。

7.如权利要求1所述的用于较高能量重离子束流诊断的位置灵敏探测器，其特征在于所述的入射窗和出射窗的材料为不锈钢簿板，其厚度为50-200μm，固连在气盒上。