[发明专利]磁控溅射装置

权利要求书

1.一种磁控溅射装置，其特征在于，包括报警系统，所述报警系统包括感应模块、报警控制模块和报警模块，其中

感应模块，用于检测对应的挡板shutter是否开关到位，并将检测结果发送到报警控制模块；

报警控制模块，用于根据所述感应模块发送的检测结果判断所述shutter是否开关到位，并在判断为否时，向所述报警模块输出报警信号；

报警模块，用于在接收到报警信号后产生报警。

2.如权利要求1所述的磁控溅射装置，其特征在于，

所述感应模块具体用于在检测到所述shutter在开启位置或者在关闭位置时，向所述报警控制模块发送第一检测结果，否则，向所述报警控制模块发送第二检测结果；

所述报警控制模块，还与所述shutter的控制开关相连，用于在检测到所述shutter开始开启或关闭时，判断在第一预设时间内是否接收到了第二检测结果，并在判断为否时，判定没有开关到位。

3.如权利要求2所述的磁控溅射装置，其特征在于，

所述报警控制模块还用于，在判断第一预设时间内接收到所述感应模块发送的第二检测结果后，进一步判断在第二预设时间是否接收到第一检测结果，若是，则判定开关到位，若否，则判定没有开关到位。

4.如权利要求2或3所述的磁控溅射装置，其特征在于，

所述感应模块包括第一感应器和第二感应器，所述第一感应器用于在所述shutter在开启位置时，输出第一检测信号，在所述shutter不在开启位置时，输出第二检测信号；所述第二感应器用于在所述shutter在关闭位置时，输出第一检测信号，在所述shutter不在关闭位置时，输出第二检测信号；所述感应模块用于在两个感应器中有感应器输出第一检测信号时，向所述报警控制模块输出第一检测结果，否则，向所述报警控制模块输出第二检测结果。

5.如权利要求4所述的磁控溅射装置，其特征在于，所述第一感应器和第二感应器均为红外感应器，所述报警控制模块为可编程逻辑控制器PLC，

所述第一感应器和所述第二感应器的输出端并联到PLC上的同一管脚，所述第一检测信号和第一检测结果均为高电平，第二检测信号和第二检测结果为低电平；

所述磁控溅射装置还包括可移动检测板，所述可移动检测板上设置有一个缺口，所述可移动检测板随所述shutter运动，且当所述shutter处于开启位置时，所述可移动检测板上的缺口与第一感应器相对；当所述shutter关闭位置时，所述可移动检测板上的缺口与第二感应器相对。

6.如权利要求1所述的磁控溅射装置，其特征在于，所述感应模块和所述报警模块均为多个，且各个感应模块分别用于检测所述shutter是否开关到不同的位置，且每一个感应模块对应于一个报警模块；

所述报警控制模块具体用于在根据一个感应模块发送的检测结果判断所述shutter没有开关到位时，向该感应模块对应的报警模块发送报警信号。

7.如权利要求6所述的磁控溅射装置，其特征在于，所述报警模块为指示灯。

8.如权利要求1所述的磁控溅射装置，其特征在于，所述报警控制模块还用于，在判断所述shutter没有开关到位时向所述磁控溅射装置的主控制系统输入报警信号。

9.如权利要求1所述的磁控溅射装置，其特征在于，所述报警控制模块上还设置有报警清除模块，并在所述报警清除模块被触发时，向所述报警模块发送报警清除信号；

所述报警模块，还用于在接收到所述报警控制模块发送的报警清除信号后停止产生报警。