[发明专利]用于大半导体行业的抽真空装置

说明书

技术领域

本发明涉及真空获得装置领域，尤其涉及一种用于大半导体行业的抽真空装置。

背景技术

大半导体行业(如SEMIPVLEDFPD等)用的抽真空装置10包括连接到工艺设备的工艺腔或者上载-卸载腔的真空泵20，真空泵包括泵体21，里面的5级转子R1，R2，R3，R4，R5，及驱动转子转动的马达22，及真空泵20的入口管23；顺序连接在真空泵排气端的单向阀28及中间连接管道25，在真空泵20工作时此单向阀28仅允许真空泵排气气流向大气侧；一个与单向阀28并行连接的相对小抽速的辅助泵30及中间连接管道26，此辅助泵用来在真空泵等待状态时降低真空泵20的排气压力。

工艺设备的上载-卸载腔和真空泵20之间的截止阀打开时，真空泵20工作将工艺设备的上载-卸载腔抽到真空状态，而此时辅助泵30无作用。然而当工艺设备的上载-卸载腔和真空泵20之间的截止阀关断时，真空泵20进入等待状态，此时辅助泵30开始作用，降低真空泵20的排气端压力，从而降低真空泵20的负载。特别地，对于多级结构的真空泵20来说位于排气端的转子R5相对于R1，占到最大的压缩比，R5段的功耗占到真空泵总功耗的最大比例。相应地辅助泵30能够降低施加于R5的负载，从而能够极大地降低真空泵20的总功耗。

然而，用于降低真空泵20的排气端负载的辅助泵30有一些如下固有的问题：

1)辅助泵30需要额外的购置成本。

2)既然辅助泵30不能够简单地连接到排气管25，需要复杂的附加排气管26。此会产生管道成本，安装成本，占地费用。

3)即使辅助泵30相对是小抽速的泵，但是它本身还是需要额外的功耗。

综上几点，采用辅助泵降低真空泵总功耗存在固有的局限，达不到满意的水平。

发明内容

本发明要解决的技术问题是：节约成本，降低能耗，延长真空泵使用寿命。

为解决上述技术问题采用的技术方案是：一种用于大半导体行业(如SEMIPVLEDFPD等)的抽真空装置，包括真空泵和用于降低所述真空泵负载的减压模块，所述真空泵包括泵体，泵入口管，五级转子，驱动转子转动的泵马达以及连接所述真空泵和所述减压模块的真空管道。

进一步的是：所述减压模块包括顺序连接在所述真空泵排气端的第一分管，安装在第一分管中间仅允许真空泵的排气从真空泵到大气压侧的单向阀，从第一分管分支出来的用来旁通单向阀的第二分管，位于第二分管中间的真空发生器，所述真空发生器利用外部载气让载气从外部流入，后流向大气压侧，从而降低真空泵排气压力。

进一步的是：所述减压模块包括真空发生器，载气接口，扁平紧凑的自锁法兰连接的真空泵侧法兰和大气压侧法兰，两个法兰中间设置单向阀，不用改变现存的真空泵排气端管道；

进一步的是：所述减压模块被密封安装于保护盒子中，所述保护盒子外围包括载气进气管及法兰，连接真空泵排气侧管道及法兰，及大气排气管道及法兰。

进一步的是：所述真空发生器包括让外部载气流入的进口段，让载气流出的出口段，连接进口段和出口段的横截面，以及连接在横截面上的中间段，还包括与中间段连接在一起的第二分管的进口管。

进一步的是：所述真空发生器的连接进口段和出口段的横截面跟进口段和出口段截面相比突然变小，从而使载气的流速徒然增加。

进一步的是：所述真空泵通过真空管道与工艺设备的上载-卸载腔连接，所述真空管道上设置截止阀。

本发明的用于大半导体行业(如SEMIPVLEDFPD等)的抽真空装置，包含的减压模块利用高压气流和文丘里效应来降低真空泵排气端的压力，由于只用载气，此模块不需要额外的电耗，就能够降低真空泵的负载从而到达节能的目的。

此减压模块包括顺序连接于真空泵排气端的第一分管；一个安装于第一分管仅使真空泵工作排气时从真空泵流向大气侧的单向阀；一个从第一分管分支出来的用来旁通单向阀的第二分管；一个安装于第二分管上的真空发生器，此真空发生器从外部接入高压载气，通过文丘里效应产生降压作用，从而让真空泵的排气压力降低，在真空泵处于等待状态时让气流通过真空发生器流向大气侧。

真空发生器包含载气流入管及通过的入口段；连接到第二分管大气压侧的气体出口段；连接入口段和出口段的横截面的中间段。当载气从入口端流向出口段的过程中横截面急剧变小时载气的流速陡然增加，产生文丘里效应，从而在中间段产生压降作用。

附图说明

图1是本发明抽真空装置结构简图；

图2是本发明抽真空装置结构示意图；