[发明专利]全自动标准气体生产装置

权利要求书

1.一种全自动标准气体生产装置，其特征在于包括：原料气瓶、成品气瓶、气动钢瓶、气体配制柜、真空泵，所述的原料气瓶、成品气瓶、气动钢瓶和真空泵均连接在所述的气体配制柜上，在所述气体配制柜上还连接有控制系统，所述控制系统外接有计算机，所述气体配制柜由计算机通过控制系统进行控制。

2.根据权利要求1所述的全自动标准气体生产装置，其特征在于：在所述的气体配制柜上装有气动阀门、压力传感器、大流量质量流量计和小流量质量流量计。

3.根据权利要求2所述的全自动标准气体生产装置，其特征在于：所述的气动阀门为12个、压力传感器为3个、大流量质量流量计和小流量质量流量计各一个。

4.根据权利要求1或2或3所述的全自动动标准气体生产装置，其特征在于：所述成品气瓶为一个，气动钢瓶为一个。

5.根据权利要求4所述的全自动动标准气体生产装置，其特征在于：所述原料气瓶有五个输入管路，其中一个输入管路固定为氮气管路，其余四个为任意原料气输入管路。

6.根据权利要求5所述的全自动动标准气体生产装置，其特征在于：其中有5个气动阀门分别设置在所述的原料气瓶的五个输入管路上；其中有4个气动阀门分别设置在所述的大流量质量流量计和所述的小流量质量流量计的进口和出口上；其中有1个气动阀门设置在连接所述成品气瓶的管路上；其中有1个气动阀门设置在连接所述真空泵的管路上；其中有1个气动阀门设置在气体配制柜的排空管路上。

7.根据权利要求2或6所述的全自动动标准气体生产装置，其特征在于：所述的3个压力传感器分别为监测成品气瓶中的压力、气体配制柜中管道的气体压力以及经过真空泵抽真空后的压力。