[发明专利]一种氢气传感器

权利要求书

1.一种氢气传感器，其特征在于，包括：

衬底层；

至少两行金属氧化物纳米管，所述至少两行金属氧化物纳米管设置在所述衬底层上，每行金属氧化物纳米管包括至少两个金属氧化物纳米管，并且相邻两行金属氧化物纳米管之间相互错位排列，使得所述相邻两行金属氧化物纳米管之中的三个相邻金属氧化物纳米管之间形成管间空间；

金属纳米点，所述金属纳米点形成在所述管间空间中的至少一部分的顶端处；

电极层，所述电极层形成在所述至少两行金属氧化物纳米管的顶部并与所述金属纳米点的至少一部分电连接。

2.如权利要求1所述的氢气传感器，其特征在于：所述管间空间由三个相邻的金属氧化物纳米管围成。

3.如权利要求1或者2所述的氢气传感器，其特征在于：所述三个相邻的金属氧化物纳米管之中的两个属于所述相邻两行金属氧化物纳米管中的一行，另一个属于所述相邻两行金属氧化物纳米管中的另一行。

4.如权利要求1至3中任意一项所述的氢气传感器，其特征在于：所述衬底层为钛层、锡层、镉层、铈层、铁层、镍层、锌层、铟层或者镓层。

5.如权利要求1至3中任意一项所述的氢气传感器，其特征在于：所述金属氧化物纳米管为二氧化钛纳米管、二氧化锡纳米管、氧化镉纳米管、二氧化铈纳米管、三氧化二铁纳米管、氧化镍纳米管、氧化锌纳米管、氧化铟纳米管或者氧化镓纳米管。

6.如权利要求1至3中任意一项所述的氢气传感器，其特征在于：所述金属纳米点为钯纳米点。

7.如权利要求1至3中任意一项所述的氢气传感器，其特征在于：所述金属氧化物纳米管为具有氢敏特性的金属氧化物纳米管。

8.如权利要求1至3中任意一项所述的氢气传感器，其特征在于：所述金属纳米点为具有吸氢后体积膨胀的性质的金属纳米点。

9.如权利要求1至3中任意一项所述的氢气传感器，其特征在于：所述电极层为钯电极层。

10.如权利要求1至3中任意一项所述的氢气传感器，其特征在于：在吸收氢气之前，所述金属纳米点之间相互分离，并且在吸收氢气之后，所述金属纳米点体积膨胀使得所述金属纳米点之间相互接触。