[发明专利]一种分片装置

权利要求书

1.一种分片装置，其特征在于：该装置包括：

进料单元，其设置在一水槽内，所述的进料单元中放置有包括沿水平方向叠放有多个基片的基片堆，每个所述的基片沿大致竖直面布置；

吸取单元，其包括输送带，所述的输送带上设置有若干与一负压动力源相连通的负压吸附孔，所述的输送带有部分设置在所述的水槽内并且该部分延伸至所述的进料单元，当所述的基片堆沿进给方向进给时，所述的基片堆中的基片能够逐个被所述的输送带上的负压吸附孔吸附并随输送带移动；

 负压单元，其用于向所述的负压吸附孔提供所述的负压动力源，所述的负压单元包括设置在所述的输送带内部的负压箱、设置在所述的负压箱上的至少一个抽气孔、一个密封箱体、与所述的密封箱体相连接的抽气泵和抽液泵，所述的抽气孔通过管体连通至所述的密封箱体，若干个所述的负压吸附孔均与所述的负压箱相连通，所述的负压箱部分位于所述的水槽内。

2.根据权利要求1所述的一种分片装置，其特征在于：所述的负压箱上设置有第一抽气孔和第二抽气孔，所述的第一抽气孔位于所述的负压箱的中部以上的位置，所述的第二抽气孔位于所述的水槽中水面以上且靠近水面的位置。

3.根据权利要求1所述的一种分片装置，其特征在于：所述的抽液泵的入口端连通至与所述的密封箱体、出口端连通至所述的水槽。

4.根据权利要求1所述的一种分片装置，其特征在于：所述的密封箱体上设置有高位液位传感器和低位液位传感器，所述的高位液位传感器和所述的低位液位传感器均信号连接至一控制单元，所述的控制单元输出的控制信号连接至所述的抽液泵的信号控制端。

5.根据权利要求1所述的一种分片装置，其特征在于：所述的密封箱体的相对两侧壁上分别设置有多个隔板，这些所述的隔板相间隔交错设置，这些所述的隔板与所述的密封箱体的内壁之间形成蛇形的气液分离通道。