[发明专利]固态图像传感器

说明书

技术领域

本发明涉及固态图像传感器。

背景技术

日本专利公开No.2012-019057描述了通过布置多个成像块形成一个成像区域的固态图像传感器中的光电转换器与读出电路的相对配置。日本专利公开No.2012-019057的图2描述了如下这样的布置，其中奇数列中的像素和偶数列中的像素关于奇数列与偶数列之间的对称轴具有线对称布局。

图1示出两个相邻的像素关于作为对称轴的沿列方向的线被线对称地设置的例子。各像素遵从在日本专利公开No.2012-019057的图6中描述的一个像素的布局。电流从节点n1通过经由节点CVC与光电转换器202连接的晶体管303和与EN信号连接的晶体管304流到GND。该电流在左侧像素中从左流向右并在右侧像素中从右流向左。

一般地，用于形成晶体管的处理包括离子注入步骤。例如，存在用于形成阱的离子注入、用于形成源极/漏极区域的离子注入和用于调整阈值的离子注入等。此时，为了防止沟道(channeling)现象，可在不与半导体基板表面的法线平行地注入离子的情况下在相对于该法线倾斜约7°的方向上执行离子注入(称为斜离子注入)。

当在图1所示的布局中执行斜离子注入时，由于左侧像素中的电流流动方向与右侧像素中的电流流动方向不同，因此，左侧像素中的电流方向与离子注入角度之间的关系与右侧像素中的关系不同。从而，晶体管的电压-电流特性在左侧像素和右侧像素之间轻微偏移，并且，像素输出在奇数列与偶数列之间偏移。这产生固定模式噪声。

发明内容

本发明的实施例提供了用于有利地减少固定模式噪声的技术。

在第一方面中，本发明提供一种固态图像传感器，其包含像素阵列，在该像素阵列中，多个像素被布置为形成沿第一方向的多个线和沿与第一方向相交的第二方向的多个线，其中，多个像素中的每一个包含光电转换器和读出电路，该读出电路被配置为将根据在光电转换器中产生的电荷的信号输出到信号线，读出电路包含被设置为形成由电流源馈电的电流路径的一组晶体管，沿第一方向的多个线包含彼此相邻的第一线和第二线，第一线中的像素的读出电路和第二线中的像素的读出电路被设置在第一线中的像素的光电转换器与第二线中的像素的光电转换器之间，并且，分别流过第一线中的像素的读出电路中的该组晶体管和第二线中的像素的读出电路中的多个晶体管的电流的方向相同。

在第二方面中，本发明提供一种固态图像传感器，其包含像素阵列，在该像素阵列中，多个像素被布置为形成沿第一方向的多个线和沿与第一方向相交的第二方向的多个线，其中，多个像素中的每一个包含光电转换器和读出电路，该读出电路被配置为将根据在光电转换器中产生的电荷的信号输出到信号线，读出电路包含被配置为形成电流源的第一晶体管和被设置为与该电流源一起形成电流路径的多个第二晶体管，沿第一方向的多个线包含彼此相邻的第一线和第二线，第一线中的像素的读出电路和第二线中的像素的读出电路被设置在第一线中的像素的光电转换器与第二线中的像素的光电转换器之间，并且，分别流过第一线中的像素的第一晶体管和多个第二晶体管的电流以及第二线中的像素的第一晶体管和多个第二晶体管的电流的方向相同。

参照附图阅读示例性实施例的以下描述，本发明的其它特征将变得清晰。

附图说明

图1是用于解释技术问题的布局图；

图2A和图2B示出固态图像传感器的布置的例子；

图3示出成像块的布置的例子；

图4是用于示出像素的布置的例子的电路图；

图5是示出固态图像传感器的操作的例子的定时图；并且

图6是示出像素的布局的例子的示图。

具体实施方式

将参照图2A和图2B描述作为本发明的一个实施例的固态图像传感器100的示意性布置。图2A是固态图像传感器100的平面图，图2B是固态图像传感器100的截面图。例如，可通过布置多个成像块101形成固态图像传感器100。在这种情况下，可通过布置多个成像块101形成包含一个成像区域的传感器面板SP。多个成像块101可被设置在支撑基板102上。当通过一个成像块101形成固态图像传感器100时，通过该成像块101形成传感器面板SP。多个成像块101中的每一个可以是例如在半导体基板上形成电路元件的块或在诸如玻璃基板上形成半导体层并且在该半导体层上形成电路元件的块。多个成像块101中的每一个包含多个像素被布置为形成多个行和列的像素阵列。