[发明专利]干涉仪

权利要求书

1.一种干涉仪，其带有：

- 光源(10;LQ)，

- 分束器(23;PBS)，其将由所述光源(10;LQ)发射的第一光束分开成至少一个测量光束(M;M1,M2)和至少一个参考光束(R)，其中，通过所述测量光束(M;M1,M2)和所述参考光束(R)展开第一分开平面(AE1)，并且所述测量光束(M;M1,M2)在测量臂中而所述参考光束(R)在参考臂中传播直至在第一结合平面(VE1)中的结合地点(V)处再结合，其中，所述第一结合平面(VE1)平行于所述第一分开平面(AE1)定向，

- 测量反射器(30;130;230;MR)，其布置在所述测量臂中并且与能够沿着测量方向(y)运动的测量对象(31;131;231)相连接，其中，所述测量光束(M;M1,M2)至少两次垂直地射到所述测量反射器(30;130;230;MR)上，

- 参考后向反射器(RR2;RR)，其布置在所述参考臂中，其中，所述参考光束(R)至少一次射到所述参考后向反射器(RR2;RR)上，

- 探测器组件(40;DET)，通过其能够从在所述结合地点(V)处叠加的干涉的测量光束(M;M1,M2)和参考光束(R)中关于所述测量对象(31;131;231)的位置检测至少一个第一距离信号，

- 透明的第一平板(21;121;221;P1)和透明的第二平板(22;122;222;P2)，其在光路中彼此平行地布置在所述光源(10;LQ)与所述探测器组件(40;DET)之间，其中，所述测量反射器(30;130;230;MR)能够相对这两个平板(21;121;221;P1;22;122;222;P2)沿着所述测量方向(y)运动，以及

- 所述参考后向反射器(RR2;RR)构造在所述第一平板(21;121;221;P1)中而

- 所述分束器(23;PBS)布置在所述第二平板(22;122;222;P2)上。

2.根据权利要求1所述的干涉仪，其中，在所述第一平板(21;121;221;P1)中的所述参考后向反射器(RR2;RR)构造为衍射的后向反射器并且包括布置在所述第一平板(21;121;221;P1)的一侧上的至少一个格栅透镜和布置在所述第一平板(21;121;221;P1)的相对的侧面上的平的至少一个反射器，其反射侧向所述格栅透镜的方向定向，并且其中，通过至少一个所述格栅透镜实现射到其上的所述参考光束(R)偏转和聚焦到所述布置在所述第一平板(21;121;221;P1)的相对的侧面上的平的至少一个反射器上。

3.根据权利要求1所述的干涉仪，其中，所述第一平板(21;121;221;P1)此外具有至少一个延迟单元(VE)，所述参考光束(R)沿着所述延迟单元传播并且所述延迟单元(VE)包括平的至少两个反射器，其布置在所述第一平板(21;121;221;P1)的相对的侧面处，其中，所述反射器的反射面分别向所述第一平板(21;121;221;P1)的相对的侧面的方向定向。

4.根据权利要求3所述的干涉仪，其中，所述参考光束(R)在所述第一平板(21;121;221;P1)中通过的至少一个所述延迟单元(VE)构造成使得所述参考光束(R)和所述测量光束(M;M1,M2)在分开和再结合之间在这两个平板(21;121;221;P1;22;122;222;P2)中通过相同的路程。

5.根据权利要求1所述的干涉仪，其中，在所述第二平板(22;122;222;P2)上的分束器(23;PBS)构造为偏光的分束层，其布置在所述第二平板(22;122;222;P2)的第一侧面上，并且其中，该侧面向所述第一平板(21;121;221;P1)的方向定向。