[发明专利]基于模糊图像相关和分形小波插值的MEMS面内微运动测量方法

权利要求书

1.一种基于模糊图像相关和分形小波插值的MEMS面内微运动测量方法，所述方法的步骤如下：

(1)对原始模糊图像进行预处理，包括进行直方图均衡化和去噪；

(2)对预处理后的模糊图像进行分形小波插值；

(3)求插值图像沿振动方向的一阶微分；

(4)计算一阶微分图像各列的自相关函数；

(5)将自相关图像在行方向上相加得到一维数列，检测该数列的负峰值间距为L，则谐振器振幅A＝L/2。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述步骤(2)对模糊图像进行分形小波插值的具体步骤为：

(2.1)对原模糊图像进行分形插值；

(2.2)对插值后的模糊图像进行小波分解；

(2.3)增强振动方向的高频分量，衰减其他分量；

(2.4)对各分量进行小波重构，得到高频增强后的图像。