[发明专利]一种水槽密封结构、水槽及硅外延设备有效
申请号: | 201410282566.8 | 申请日: | 2014-06-20 |
公开(公告)号: | CN105220226B | 公开(公告)日: | 2018-05-25 |
发明(设计)人: | 庞浩 | 申请(专利权)人: | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B25/02 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 彭瑞欣;张天舒 |
地址: | 100176 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 水槽 密封圈固定槽 密封圈 密封结构 硅外延 通气孔 通气槽 压强 便于拆装 均匀受力 两端封堵 密封效果 散热降温 外侧延伸 联通 吸入 有向 密封 抽取 挤出 传递 维护 | ||
1.一种水槽密封结构,其特征在于,包括:密封圈固定槽和密封圈;
所述密封圈固定槽开设于水槽的密封面上;
所述密封圈放置于所述密封圈固定槽内;
所述密封圈的两端封堵,所述密封圈固定槽上开设有向水槽外侧延伸的通气孔;
所述密封圈固定槽的底部开设有与所述通气孔联通的通气槽,以在通入气体或者抽取真空时将产生的压强均匀传递给密封圈。
2.根据权利要求1所述的水槽密封结构,其特征在于,所述通气孔用于在安装所述密封圈时向所述通气槽通入气体。
3.根据权利要求1所述的水槽密封结构,其特征在于,所述通气孔用于在拆卸所述密封圈时将所述通气槽抽取真空。
4.根据权利要求1所述的水槽密封结构,其特征在于,所述通气孔开设在所述密封圈固定槽的靠近封堵内侧的位置。
5.根据权利要求1所述的水槽密封结构,其特征在于,所述通气孔为多个。
6.根据权利要求1所述的水槽密封结构,其特征在于,所述密封圈的两端通过固定架封堵。
7.根据权利要求6所述的水槽密封结构,其特征在于,所述固定架包括螺栓。
8.根据权利要求1所述的水槽密封结构,其特征在于,所述水槽、密封圈和通气槽均为U型结构。
9.一种水槽,其特征在于,包括水槽主体和权利要求1-8任一所述的水槽密封结构。
10.一种硅外延设备,其特征在于,包括权利要求9所述的水槽。
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