[发明专利]一种基于机械张紧方式的柔性衬底薄膜微加工方法及机械张紧装置和使用方法

权利要求书

1.一种基于机械张紧装置的柔性衬底基微加工方法，所述机械张紧装置主要包括两个内外径完全一样的圆环；每个圆环上相应位置处都有多个周向均布的轴向孔；一个圆环上的孔为台阶通孔；另一个圆环上的孔为螺纹孔，使得两个圆环叠放在一起时，相应位置处的两孔通过螺栓连接，使得螺栓的螺母部分置于台阶通孔大段内部，且止靠在台阶通孔的台阶面上，螺柱部分与螺纹孔配合；台阶通孔小段长度与待装夹柔性衬底薄膜厚度一致；该柔性衬底基微加工方法的特征在于：包括如下主要步骤：

步骤一：清洗所述机械张紧装置，去除表面原生氧化层、有机污染物、然后干燥；对柔性衬底薄膜装夹后，使得柔性衬底薄膜张紧；

步骤二：将柔性衬底薄膜清洗，装夹于所述机械张紧装置中；

步骤三：使用标准化工艺在柔性衬底薄膜正面加工所需结构；

步骤四：使用标准化工艺在柔性衬底薄膜背面加工所需结构；

步骤五：去除张紧装置，释放器件。

2.一种机械张紧装置的使用方法，所述机械张紧装置主要包括两个内外径完全一样的圆环；每个圆环上相应位置处都有多个周向均布的轴向孔；一个圆环上的孔为台阶通孔；另一个圆环上的孔为螺纹孔，使得两个圆环叠放在一起时，相应位置处的两孔通过螺栓连接，使得螺栓的螺母部分置于台阶通孔大段内部，且止靠在台阶通孔的台阶面上，螺柱部分与螺纹孔配合；其特征在于：先将两个圆环多个周向均布的轴向孔对齐，而后将柔性衬底薄膜置于两个圆环之间，用螺栓依次穿过一个圆环上相应的台阶通孔、柔性衬底薄膜和另一个圆环上相应的螺纹孔，实现对柔性衬底薄膜的装夹。

3.一种如权利要求2所述的机械张紧装置使用方法，其特征在于：在柔性衬底薄膜上螺栓贯穿位置处加工出径向槽。