[发明专利]一种大数值孔径的折反射浸没投影光学系统

权利要求书

1.一种大数值孔径的折反射浸没投影光学系统，用于将位于物平面的图案投影到像平面上，所述大数值孔径的折反射浸没投影光学系统包括第一透镜组(G1)、第二反射透射镜组(G2)、第三透镜组(G3)、第四透镜组(G4)，其特征在于：从光束入射方向的第一透镜组(G1)具有正光焦度，第二反射透射镜组(G2)具有负光焦度，第三透镜组(G3)具有正光焦度，第四透镜组(G4)具有正光焦度，所述大数值孔径的折反射浸没投影光学系统包含了二十四片透镜和四片反射镜，且包含多个非球面。

2.如权利要求1所述的大数值孔径的折反射浸没投影光学系统，其特征在于：所述的第一透镜组(G1)包含四片透镜，其中第一片透镜为平行平板(1)，第二片透镜为双凸透镜(2)，第三片透镜为正弯月透镜(3)，第四片透镜为正弯月透镜(4)。

3.如权利要求1所述的大数值孔径的折反射浸没投影光学系统，其特征在于：所述的第一透镜组(G1)中的双凸透镜(2)、正弯月透镜(3)、正弯月透镜(4)沿径向，相对于系统光轴具有偏离。

4.如权利要求1所述的大数值孔径的折反射浸没投影光学系统，其特征在于：所述的第二反射透射镜组(G2)、第三透镜组(G3)、第四透镜组(G4)在与光轴垂直方向没有偏离。

5.如权利要求1所述的大数值孔径的折反射浸没投影光学系统，其特征在于：所述的第二反射透射镜组(G2)包含六片透镜和四片反射镜，其中第五片为凹反射镜(5)，第六片为凹反射镜(6)，第七片为双凸透镜(7)，第八片为正弯月透镜(8)，第九片为正弯月透镜(9)，第十片为正弯月透镜(10)，第十一片为凹反射镜(11)，第十二片为正弯月透镜(12)，第十三片为凹反射镜(13)，第十四片为正弯月透镜(14)。

6.如权利要求5所述的大数值孔径的折反射浸没投影光学系统，其特征在于：所述的第二反射透射镜组(G2)中的第五片凹反射镜(5)、第六片凹反射镜(6)、第九片正弯月透镜(9)第一面、第十片正弯月透镜(10)第一面、第十一片凹反射镜(11)、第十二片正弯月透镜(12)第一面、第十三片凹反射镜(13)、第十四片正弯月透镜(14)第一面为非球面。

7.如权利要求1所述的大数值孔径的折反射浸没投影光学系统，其特征在于：所述的第三透镜组(G3)包含九片透镜，其中第十五片为双凸透镜(15)，第十六片为负弯月透镜(16)，第十七片为负弯月透镜(17)，第十八片为正弯月透镜(18)，第十九片为正弯月透镜(19)，第二十片为负透镜(20)，第二十一片为双凸透镜(21)，第二十二片为正弯月透镜(22)，第二十三片为双凸透镜(23)。

8.如权利要求7所述的大数值孔径的折反射浸没投影光学系统，其特征在于：所述的第三透镜组(G3)中的第十五片双凸透镜(15)的第二面、第十六片负弯月透镜(16)的第二面、第十七片负弯月透镜(17)的第二面、第十九片正弯月透镜(19)的第一面、第二十片负透镜(20)的第一面、第二十一片双凸透镜(21)的第一面、第二十三片双凸透镜(23)的第一面为非球面。

9.如权利要求1所述的大数值孔径的折反射浸没投影光学系统，其特征在于：所述的第四透镜组(G4)包含五片透镜，其中第二十五片为正弯月透镜(25)，第二十六片为正弯月透镜(26)，第二十七片为正弯月透镜(27)，第二十八片为正弯月透镜(28)，第二十九片为正弯月透镜(29)。

10.如权利要求9所述的大数值孔径的折反射浸没投影光学系统，其特征在于：所述的第四透镜组(G4)中的第二十五片正弯月透镜(25)的第二面、第二十七片正弯月透镜(27)的第二面、第二十八片正弯月透镜(28)的第二面为非球面。

11.如权利要求1所述的大数值孔径的折反射浸没投影光学系统，其特征在于：系统中后一面与像面之间的介质是高折射率流体，包括但不限于去离子水。

12.如权利要求1所述的大数值孔径的折反射浸没投影光学系统，其特征在于：在第三透镜组(G3)与第四透镜组(G4)之间设置系统孔径光阑(24)。

13.如权利要求1所述的大数值孔径的折反射浸没投影光学系统，其特征在于：所述大数值孔径的折反射浸没投影光学系统为双远心系统。

14.如权利要求1所述的大数值孔径的折反射浸没投影光学系统，其特征在于：所述大数值孔径的折反射浸没投影光学系统适用于深紫外照明光源，波长为157nm、193.3nm或248nm的光源。