[发明专利]一种双焦点激光微加工装置及其加工方法

权利要求书

1.一种双焦点激光微加工装置，包括激光器(1)、第一45度反射镜(2)、第一半波片(3)、第三45度反射镜(8)和聚焦镜(9)，其特征在于：还包括设于第一半波片(3)的输出光路上用于将激光光束分割为水平偏振光束P和垂直偏振光束S的第一偏振片(4)，分别设于水平偏振光路和垂直偏振光路上的水平光路装置和垂直光路装置，设于水平光路装置输出端和垂直光路装置输出端的第二偏振片(7)，所述水平偏振光束P依次经水平偏振光路、第二偏振片(7)、第三45度反射镜(8)和聚焦镜(9)后于被加工物(10)上形成第一焦点(62)，所述垂直偏振光束S依次经垂直偏振光路、第二偏振片(7)、第三45度反射镜(8)和聚焦镜(9)后于被加工物(10)上形成第二焦点(63)；

所述水平偏振光路包括设于水平偏振光路上的第二45度反射镜(5)和设于第二45度反射镜(5)反射光路上的扩束镜(6)，且扩束镜(6)与第二偏振片(7)对应；

所述垂直光路装置包括设于垂直偏振光路上的第四45度反射镜(12)，设于第四45度反射镜(12)反射光路上的第五45度反射镜(11)，设于第五45度反射镜(11)反射光路上的第二半波片(13)，设于第二半波片(13)输出光路上的第六45度反射镜(14)，且第六45度反射镜(14)与第二偏振片(7)对应；

所述扩束镜(6)的倍数调整范围为2-8倍，且调整所述扩束镜(6)的倍数调节第一焦点(62)和第二焦点(63)在Z轴方向上的距离。

2.根据权利要求1所述的双焦点激光微加工装置，其特征在于：还包括控制所述第一半波片(3)旋转角度的旋转装置。

3.根据权利要求1所述的双焦点激光微加工装置，其特征在于：所述第一焦点(62)和第二焦点(63)在Z轴方向上的相对距离范围为0-100um。

4.根据权利要求1所述的双焦点激光微加工装置，其特征在于：所述第一焦点(62)和第二焦点(63)在X轴方向和Y轴方向上的相对距离范围为0-30um。

5.根据权利要求1所述的双焦点激光微加工装置，其特征在于：还包括用于控制水平偏振光束P和垂直偏振光束S关断的第一光闸控制开关和第二光闸控制开关。

6.根据权利要求1所述的双焦点激光微加工装置，其特征在于：所述聚焦镜(9)的NA值范围是0.3-0.7。