[发明专利]高稳定性转镜干涉仪

权利要求书

1.一种高稳定性转镜干涉仪，其特征在于，包括第一分束器、第二分束器、第一平面反射镜、第二平面反射镜、第三平面反射镜、倾斜反射镜以及能量收集镜：

所述第一平面反射镜与所述第二分束器的分束膜平行设置并固定连接；

所述第二平面反射镜与所述第三平面反射镜平行设置构成平行反射镜组，所述平行反射镜组固定连接转轴；

所述平行反射镜组与所述第二分束器固定连接；

所述倾斜反射镜具有倾角；

进入所述第一分束器的光束经分光后得到的反射光到达所述第二分束器；

进入所述第二分束器的光束经分光后，一路反射到达所述第一平面反射镜得到第一反射光束，另一路透射到达所述平行反射镜组得到第一透射光束；

第一透射光束经过所述平行反射镜组后垂直入射到所述倾斜反射镜，经所述倾斜反射镜反射后沿原光路返回，再次通过所述第二分束器透射后得到第二透射光束；

第一反射光束经所述第一平面反射镜反射后垂直入射到所述倾斜反射镜，经所述倾斜反射镜反射后沿原光路返回，再次通过所述第二分束器反射后得到第二反射光束；

第二反射光线与第二透射光线经所述第一分束器透射到达能量收集镜会聚后在探测器互相干涉。

2.根据权利要求1所述的高稳定性转镜干涉仪，其特征在于，转轴转速为ω，一个转动周期内任意时刻t，光程差ΔL_total为：

ΔL_total＝4(hcosα-h′cosα′)cosθ+4(hsinα+h′sinα′)sinθcos(ωt)

其中，h表示第二平面反射镜与第三平面反射镜之间的垂直距离，α表示平行反射镜组的法线与转轴的夹角，h′表示第一平面反射镜与第二分束器的分束膜间的垂直距离，α′表示第一平面反射镜的法线与转轴的夹角，θ表示倾斜反射镜的倾角。

3.根据权利要求1或2所述的高稳定性转镜干涉仪，其特征在于，所述倾斜反射镜包括反射平面和水平面，所述倾斜反射镜的倾角为反射斜面与水平面之间的夹角，所述反射平面为平面反射镜面；

或者，所述倾斜反射镜为倾斜设置的平面反射镜，所述倾斜反射镜的倾角为倾斜反射镜倾斜设置时与水平面之间的夹角。

4.根据权利要求1或2所述的高稳定性转镜干涉仪，其特征在于，所述第二平面反射镜与所述第三平面反射镜通过第一连接杆固定连接，所述第二平面反射镜与所述转轴固定连接；

或者，所述第三平面反射镜通过第二连接杆与所述转轴固定连接，所述第二平面反射镜与所述转轴固定连接。

5.根据权利要求1或2所述的高稳定性转镜干涉仪，其特征在于，所述第一平面反射镜与所述第二分束器通过第三连接杆固定连接。

6.根据权利要求1或2所述的高稳定性转镜干涉仪，其特征在于，所述平行反射镜组中第二平面反射镜与所述第二分束器固定连接。

7.根据权利要求1或2所述的高稳定性转镜干涉仪，其特征在于，所述转轴竖直设置，所述转轴一端穿过倾斜反射镜，所述转轴的另一端连接电机，所述电机输出匀速转速。

8.根据权利要求1或2的高稳定性转镜干涉仪，其特征在于，所述第一分束器为分束镜或分光棱镜，所述第二分束器为分束镜或分光棱镜。

9.根据权利要求1或2所述的高稳定性转镜干涉仪，其特征在于，所述能量收集镜为球面反射镜或透镜，或者所述能量收集镜为非球面反射镜或透镜。

10.根据权利要求1或2所述的高稳定性转镜干涉仪，其特征在于，所述的高稳定性转镜干涉仪还包括第一探测器和第二探测器：

进入所述第一分束器的光束经分光后得到的透射光到达所述第一探测器；

所述第二反射光线与第二透射光线经所述第一分束器透射到达能量收集镜会聚后在所述第二探测器互相干涉。