[发明专利]高稳定性转镜干涉仪

权利要求书

1.一种高稳定性转镜干涉仪，其特征在于，包括第一分束器、第二分束器、第一平面反射镜、第二平面反射镜、第三平面反射镜、连接机构以及倾斜反射镜：

所述第一平面反射镜与所述第一分束器的分束膜平行；

所述第二平面反射镜与所述第三平面反射镜平行设置构成平行反射镜组，所述平行反射镜组固定连接转轴；

所述平行反射镜组与所述连接机构固定设置，且所述第一分束器以及所述第一平面反射镜与所述连接机构固定设置；

所述倾斜反射镜具有倾角；

进入所述第二分束器的光束经分光后得到的反射光到达所述第一分束器；

进入所述第一分束器的光束经分光后，一路反射到达所述第一平面反射镜得到第一反射光束，另一路透射到达所述平行反射镜组得到第一透射光束；

所述第一透射光束经过所述平行反射镜组后垂直入射到所述倾斜反射镜，经所述倾斜反射镜反射后沿原光路返回，再次通过所述第一分束器透射后得到第二透射光束；

第一反射光束经所述第一平面反射镜反射后垂直入射到所述倾斜反射镜，经所述倾斜反射镜反射后沿原光路返回，再次通过所述第一分束器反射后得到第二反射光束；

所述第二反射光线与所述第二透射光线经互相干涉。

2.根据权利要求1所述的高稳定性转镜干涉仪，其特征在于，所述转轴转速为ω，一个转动周期内任意时刻t，光程差ΔL_total为：

ΔL_total＝4(hcosα-h′cosα′)cosθ+4(hsinα+h′sinα′)sinθcos(ωt)

其中，h表示所述第二平面反射镜与所述第三平面反射镜之间的垂直距离，α表示所述平行反射镜组的法线与所述转轴的夹角，h′表示所述第一平面反射镜与所述第一分束器的分束膜间的垂直距离，α′表示所述第一平面反射镜的法线与所述转轴的夹角，θ表示所述倾斜反射镜的倾角。

3.根据权利要求1或2所述的高稳定性转镜干涉仪，其特征在于，所述倾斜反射镜包括反射平面和水平面，所述倾斜反射镜的倾角为所述反射斜面与所述水平面之间的夹角所述反射平面为平面反射镜面；

或者，所述倾斜反射镜为倾斜设置的平面反射镜，所述倾斜反射镜的倾角为所述倾斜反射镜倾斜设置时与水平面之间的夹角。

4.根据权利要求1或2所述的高稳定性转镜干涉仪，其特征在于，所述第二平面反射镜与所述第三平面反射镜通过第一连接杆固定连接，所述第三平面反射镜与所述转轴固定连接；

或者，所述第二平面反射镜通过第二连接杆与所述转轴固定连接，所述第三平面反射镜与所述转轴固定连接。

5.根据权利要求1或2所述的高稳定性转镜干涉仪，其特征在于，所述的高稳定性转镜干涉仪还包括第一探测器和第二探测器：

进入所述第二分束器的光束经分光后得到的透射光到达所述第一探测器，用以标定光源强度的稳定性对干涉结果进行修正，提高测量精度；

所述第二反射光线与所述第二透射光线经所述第一分束器透射后到达第二探测器互相干涉。

6.根据权利要求1或2所述的高稳定性转镜干涉仪，其特征在于，所述连接机构为连接框架。

7.根据权利要求1或2所述的高稳定性转镜干涉仪，其特征在于，所述转轴竖直设置，所述转轴一端穿过所述倾斜反射镜。

8.根据权利要求7所述的高稳定性转镜干涉仪，其特征在于，所述转轴的另一端连接电机，所述电机输出匀速转速。

9.根据权利要求1或2所述的高稳定性转镜干涉仪，其特征在于，所述第一分束器为分束镜或分光棱镜，所述第二分束器为分束镜或分光棱镜。