[发明专利]一种凹面光栅光谱仪有效
| 申请号： | 201410284375.5 | 申请日： | 2014-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN104048757A | 公开（公告）日： | 2014-09-17 |
| 发明（设计）人： | 周倩;倪凯;逄锦超;张锦超;田瑞;许明飞;董昊 | 申请（专利权）人： | 清华大学深圳研究生院 |
| 主分类号： | G01J3/28 | 分类号： | G01J3/28;G01J3/02 |
| 代理公司： | 深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 | 代理人： | 江耀纯 |
| 地址： | 518055 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 凹面 光栅 光谱仪 | ||
【权利要求书】：
1.一种凹面光栅光谱仪，其特征在于：包括依光的传播方向依次设置于光路上的入射狭缝、凹面光栅和光探测器，所述光探测器用于接收具有第一波长范围的短波段光线；
所述光谱仪还包括遮光板和反射镜；
所述反射镜设于所述凹面光栅与所述光探测器之间的光路上，用于将具有第二波长范围的长波段光线反射到所述光探测器上，其中所述第一波长范围为λ1～λ2，所述第二波长范围为λ3～λ4，且λ1＜λ2≤λ3＜λ4，使得所述短波段光线与所述长波段光线复用所述光探测器，并且，所述光探测器和所述反射镜的位置满足入射到所述光探测器上的所述短波段光线和所述长波段光线在检测时互不干扰；
所述遮光板可活动地设于所述凹面光栅与所述光探测器之间的光路上，当需要检测所述短波段光线时，所述遮光板切换至第一位置，以使所述短波段光线入射到所述光探测器，同时阻碍所述长波段光线入射到所述光探测器；当需要检测所述长波段光线时，所述遮光板切换至第二位置，以使所述长波段光线入射到所述光探测器，同时阻碍所述短波段光线入射到所述光探测器。
2.如权利要求1所述的凹面光栅光谱仪，其特征在于：所述光探测器为光电倍增管、热电探测器、半导体光探测器或CCD阵列探测器。
3.如权利要求1所述的凹面光栅光谱仪，其特征在于：所述凹面光栅的制作结构参数中，工作级次为+1，曝光波长为紫外激光波段。
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