[发明专利]一种黑体腔式高温传感器及其制备方法

权利要求书

1.一种黑体腔式高温传感器，包括蓝宝石光纤，光纤的一端包覆有金属薄膜形成光纤黑体腔，光纤的另一端连接光纤接头，其特征在于，所述金属薄膜采用钼薄膜，厚度为200nm；所述光纤黑体腔的腔体长度与光纤直径比为11：1。

2.根据权利要求1所述的一种黑体腔式高温传感器，其特征在于，所述金属薄膜外还包覆一层氧化物保护薄膜，厚度为20nm。

3.根据权利要求1或2所述的一种黑体腔式高温传感器，其特征在于，所述蓝宝石光纤的芯径为250μm。

4.一种如权利要求1所述的黑体腔式高温传感器的制备方法，其具体工艺步骤如下：

a）截取长度为26cm、芯径为250μm的蓝宝石光纤；

b）将蓝宝石光纤装入手持研磨盘，顺次采用6μm及1μm规格的金刚石研磨纸对蓝宝石光纤端面进行手工抛光，抛光时间分别为60s及40s；

c）对步骤b)得到的蓝宝石光纤一端6cm长的区域分别用丙酮、酒精和去离子水超声清洗，然后用氮气吹干；再用等离子清洗机对光纤该部分区域处理数分钟；

d）将步骤c)清洗后的蓝宝石光纤包裹，使需镀膜部分露出，将光纤装入自动溅射平台，用夹具固定光纤；

e）设定溅射参数，依次对光纤溅射200nm厚度的钼薄膜及20nm厚度的氧化铝薄膜；

f）对步骤e)得到的蓝宝石光纤未镀膜的另一端用步骤b)的方法进行端面抛光，并以步骤c)的方法清洗，对该端制成FC/PC型接头与石英光纤对接以传输光纤黑体腔辐射信号。