[发明专利]保管设备和保管方法

说明书

技术领域

本发明涉及保管设备和利用这种保管设备的保管方法，所述保管设备包括：多个收纳部，收纳容器；惰性气体供给路，向各个上述多个收纳部供给惰性气体；喷出部，设置于各个上述多个收纳部，将从上述惰性气体供给路供给的惰性气体向收纳于上述收纳部的上述容器的内部喷出；以及排出部，设置于各个上述多个收纳部，在从上述喷出部向收纳于上述收纳部的上述容器的内部喷出惰性气体的情况下，将该容器的内部的气体排出到该容器的外部。

背景技术

在日本特开2010－16199号公报（专利文献1）中公开了如上所述的保管设备的一例。专利文献1的设备包括：收纳容器的多个收纳部；以及分别向多个收纳部供给氮气或氩气等惰性气体的惰性气体供给路，利用惰性气体供给路将惰性气体供给到喷出部，从该喷出部喷出惰性气体而将惰性气体供给到收纳于收纳部的容器内。

在上述专利文献1的保管设备中，在将容器收纳于收纳部时，通过将惰性气体供给到容器内，使不符合半导体基板的质量管理的氧气和水蒸气等从排气部排出到容器内的外部，从而抑制收纳于容器的半导体基板产生氧化等不良情况。

这样，已知有这样的保管设备：将惰性气体供给到收纳于收纳部的容器内，将容器内的气体排出，来防止容器内的物品的质量劣化。

在将惰性气体供给到收纳于收纳部的容器内的情况下，伴随该惰性气体向容器内的供给，存在于容器的内部的气体从容器排出。这样被排出的气体从容器的排气口直接或经由容器与盖的间隙排出到收纳容器的收纳部。通过继续向容器内供给惰性气体，而将容器内的气体置换成惰性气体，惰性气体随之被排出到收纳部。

进而，在向两个以上的收纳部供给惰性气体的情况下，当这些收纳部集中时，在该集中的收纳部中惰性气体被排出，惰性气体的浓度局部升高。换言之，氧浓度局部变低。

但是，在这种保管设备中，考虑到对在周围作业的作业人员等的影响，而期望抑制氧浓度的降低。因此，例如有时构成为设置对设置有收纳部的设置空间的氧浓度进行检测的传感器，在该设置空间的氧浓度变成规定值以下的情况下，对多个收纳部停止供给惰性气体。

但是，在这种构成中，即使在整个设置空间氧浓度不变得那么低，由于在设置传感器的部位氧浓度局部降低也停止惰性气体的供给，因此，存在不必要地停止惰性气体的供给的不良情况。

因此，期望抑制惰性气体的浓度局部升高。

如上所述，期望在设置收纳部的设置空间中能够抑制惰性气体的浓度局部升高的保管设备。

发明内容

本发明的保管设备包括：

多个收纳部，收纳容器；

惰性气体供给路，向各个上述多个收纳部供给惰性气体；

喷出部，设置于各个上述多个收纳部，将从上述惰性气体供给路供给的惰性气体向收纳于上述收纳部的上述容器的内部喷出；以及

排出部，设置于各个上述多个收纳部，在从上述喷出部向收纳于上述收纳部的上述容器的内部喷出惰性气体的情况下，将该容器的内部的气体排出到该容器的外部；

多个供给量调节装置，设置于上述惰性气体供给路中的各个上述多个收纳部的上述喷出部的上游侧，调节向各个上述喷出部的惰性气体的供给量；和

控制装置，监视上述多个收纳部中的惰性气体的供给状态，控制上述多个供给量调节装置；

这里，上述控制装置构成为，将上述多个收纳部分成针对每个由彼此相邻的两个以上的收纳部构成的收纳部组设定的多个监视区域，来监视上述多个收纳部中的惰性气体的供给状态，控制上述多个供给量调节装置，使得向属于各个上述多个监视区域的上述收纳部的惰性气体的供给状态满足预先确定的设定限制条件。

根据该构成，控制装置控制多个供给量调节装置，使得向属于多个监视区域的每个的收纳部的惰性气体的供给状态满足预先确定的设定限制条件。

作为设定限制条件，例如考虑使对属于监视区域的收纳部组的惰性气体的合计供给量为设定值以下，或使对属于监视区域的收纳部组供给惰性气体的收纳部的数目为合计设定数以下，或对属于监视区域的收纳部组供给惰性气体的收纳部连续排列的数目为连续设定数以下等。

相对于针对每个由彼此相邻的两个以上的收纳部构成的收纳部组设定的多个监视区域的每个，以满足如上所述的预先确定的设定限制条件的方式供给惰性气体，由此，能够抑制属于监视区域的收纳部组中的惰性气体的供给量。由此，在设置收纳部的设置空间中，能够抑制惰性气体的浓度局部升高到成为问题的程度。