[发明专利]一种聚对二甲苯有机靶的制备方法

权利要求书

1.一种聚对二甲苯有机靶的制备方法，其特征在于：该制备方法采用真空气相沉积，通过在真空条件下,将粉体聚对二甲苯粉升华，沉积在低温靶座上，获得聚对二甲苯有机靶，具体步骤如下：

步聚1）、将聚对二甲苯粉称重并加入真空炉中的加热槽里；

步骤2）、将加工好的靶座安装在真空炉中；

步骤3）、将真空炉抽真空到达1Torr，进行真空等离子清洗，将靶座表面的水汽及氧去除，并产生一定粗化效果，增加靶座表面的结合力；

步骤4）、将真空炉抽真空到达0.1Torr，然后通入10sccm的氩气保护，真空炉升温至150摄氏度，将粉体聚对二甲苯粉升华，同时将靶座通过水冷控制在35摄氏度以内，以便升华的聚对二甲苯沉积在靶座上，真空沉积时间40小时，制备出聚对二甲苯有机靶。

2.根据权利要求1所述的一种聚对二甲苯有机靶的制备方法，其特征在于：所述步骤3）的真空等离子清洗是通入500sccm的氩气，偏压1000V，时间10min。

3.根据权利要求1所述的一种聚对二甲苯有机靶的制备方法，其特征在于：所述聚对二甲苯粉包括N型、C型、D型及HT型。

4.根据权利要求1所述的一种聚对二甲苯有机靶的制备方法，其特征在于：所述靶座为不锈钢材质制成，所得的聚对二甲苯有机靶的形状是矩形、圆形或棒形。