[发明专利]一种氧化锆热障涂层的电子背散射衍射试样的制备方法有效
| 申请号： | 201410290678.8 | 申请日： | 2014-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN104089801A | 公开（公告）日： | 2014-10-08 |
| 发明（设计）人： | 周莹;王虎;吴伟;曾毅;徐建;刘紫微 | 申请（专利权）人： | 上海市计量测试技术研究院;中国科学院上海硅酸盐研究所 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28;G01N1/44 |
| 代理公司： | 上海世贸专利代理有限责任公司 31128 | 代理人： | 李浩东 |
| 地址： | 200233 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 氧化锆 热障 涂层 电子 散射 衍射 试样 制备 方法 | ||
1.一种氧化锆热障涂层的电子背散射衍射试样的制备方法，其特征是：a、对氧化锆热障涂层的电子背散射衍射试样进行表面处理， b、将氧化锆热障涂层的电子背散射衍射试样固定在氩离子束研磨仪的样品台上，调节样品台的三维位置使得氧化锆热障涂层的电子背散射衍射试样在进行氩离子束研磨时，氩离子束作用在氧化锆热障涂层的电子背散射衍射试样的中心，且在样品台呈90°倾斜时，氩离子束与氧化锆热障涂层的电子背散射衍射试样的表面相切，c、在氩离子束研磨仪的样品室内置入氧化锆热障涂层的电子背散射衍射试样后抽真空至1×10-5～1×10-3Pa，先后三次调整且每次调整样品台的倾斜角度为60°～85°再对氧化锆热障涂层的电子背散射衍射试样进行氩离子束研磨，d、氩离子束研磨结束后，将氧化锆热障涂层的电子背散射衍射试样倾斜角度回复到0°，对氧化锆热障涂层的电子背散射衍射试样进行喷镀处理。
2.根据权利要求1所述的一种氧化锆热障涂层的电子背散射衍射试样的制备方法，其特征是：表面处理为粗磨、机械抛光、清水冲洗、无水乙醇中超声清洗和风干。
3.根据权利要求1所述的一种氧化锆热障涂层的电子背散射衍射试样的制备方法，其特征是：第一次样品台倾斜角度为60°、样品台旋转速度为30r/min，第一次氩离子束研磨的加速电压为8kV、氩离子束流为500μA、研磨时间为3min，第二次样品台倾斜角度为75°、样品台旋转速度为40r/min，第二次氩离子束研磨的加速电压为6kV、氩离子束流为450μA、研磨时间为5min，第三次样品台倾斜角度为85°、样品台旋转速度为50r/min，第三次氩离子束研磨的加速电压为4kV、氩离子束流为350μA、研磨时间为15min。
4.根据权利要求1所述的一种氧化锆热障涂层的电子背散射衍射试样的制备方法，其特征是：喷镀处理为喷碳镀膜处理。
5.根据权利要求4所述的一种氧化锆热障涂层的电子背散射衍射试样的制备方法，其特征是：喷碳镀膜处理的加速电压为7kV，镀膜离子枪束流为380μA，样品台摆动角度为0～45°，速率为30r/min，样品台旋转速度为50r/min，时间为150s。
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