[发明专利]一种在线油液磨粒监测传感器及其制造方法

权利要求书

1.一种在线油液磨粒监测传感器，其特征在于，所述在线油液磨粒监测传感器的主管道在磨粒检测管段分成几个歧管，各歧管上都有一个传感器，各支路歧管按某一角度均匀分布，或不均匀分布，歧管的管径为主路管径的0.05至0.9倍，且支路歧管可以为一级或多级。

2.根据权利要求1所述的一种在线油液磨粒监测传感器，其特征在于，所述在线油液磨粒监测传感器为两级歧管分支，每级分支为3个支路的歧管，3个支路歧管按照120度平均分布，分支时主路管径为支路管径的0.3。

3.根据权利要求1所述的一种在线油液磨粒监测传感器，其特征在于，所述在线油液磨粒监测传感器的两级歧管分支的主路分别设置有网眼尺寸为2cm和0.4cm的滤网。

4.根据权利要求1所述的一种在线油液磨粒监测传感器，其特征在于，所述在线油液磨粒监测传感器的支路歧管采用立体三维蛇形管设计。

5.根据权利要求1所述的一种在线油液磨粒监测传感器，其特征在于，所述在线油液磨粒监测传感器的主管道为管径渐变，渐变系数为0.1～0.9。

6.根据权利要求1所述的一种在线油液磨粒监测传感器，其特征在于，所述在线油液磨粒监测传感器的主管道为纳米工艺材料。

7.一种在线油液磨粒监测传感器的制造方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：

步骤(1)：在10～100毫米宽，20微米～400微米厚的石英晶体衬底板上，使用光刻法实现一个宽20微米～400微米的金属覆膜层；

步骤(2)：在第一步完成的光刻衬板基础上，压缩上一块同样的10～100毫米宽，20微米～400微米厚的石英晶体衬底板；

步骤(3)：重复步骤(1)和步骤(2)，直到完成3～20层金属电极，4～19层石英晶体衬板的压缩，最下面一层的石英晶体衬板使用110微米～200微米厚度；

步骤(4)：进行微型通道处理，采用机械切割的方法，加工出一个V型槽；

步骤(5)：重复步骤(1)到步骤(4)，再加工出一个带V型切割槽的3～20层金属电极，4～19层石英晶体衬板的压缩模块；

步骤(6)：把得到的两个带V型切割槽的3～20层金属电极，4～19层石英晶体衬板的压缩模块进行压缩，两个V型槽相对，形成了带有6～40电极的微流道在线油液磨粒监测传感器。