[发明专利]真空热压烧结装置以及测温方法

权利要求书

1.一种真空热压烧结装置，其特征在于，包括：

密闭炉体，所述密闭炉体内设有发热体；

与所述密闭炉体活动连接，并用于测量所述密闭炉体内部发热体温度的测温单元，所述测温单元的一端设于所述密闭炉体内，另一端伸出所述密闭炉体；

与测温单元位于密闭炉体之外的一端相连接的移动单元，用于在测温单元测量的温度达到阈值温度时改变所述测温单元位于所述密闭炉体内的一端相对于所述发热体的距离；

与移动单元电连接的定位单元，用于控制所述测温单元被移动的距离。

2.如权利要求1所述的真空热压烧结装置，其特征在于，所述测温单元包括热电偶，所述测温单元设于密闭炉体内的一端为所述热电偶的热端，测温单元伸出所述密闭炉体的一端为热电偶的冷端。

3.如权利要求2所述的真空热压烧结装置，其特征在于，所述测温单元还包括一套设于热电偶外部的空心管，所述空心管一端设于所述密闭炉体内，另一端伸出密闭炉体，所述测温单元设于密闭炉体内的一端包括热电偶的热端以及空心管设于密闭炉体内的一端，所述测温单元伸出所述密闭炉体的一端包括热电偶的冷端以及空心管伸出密闭炉体的一端。

4.如权利要求3所述的真空热压烧结装置，其特征在于，所述真空热压烧结装置还包括：第一密封固定单元，所述第一密封固定单元套设于所述空心管外壁，并设于所述测温单元与所述密闭炉体连接处，用于使密闭炉体保持密封。

5.如权利要求4所述的真空热压烧结装置，其特征在于，所述第一密封固定单元包括套设于所述空心管外壁的多个密封圈以及多个金属垫圈，所述密封圈与金属垫圈沿空心管轴向排列且交替设置。

6.如权利要求5所述的真空热压烧结装置，其特征在于，所述第一密封固定单元包括：套设于所述空心管外壁的中空壳体，以及位于所述中空壳体远离所述密闭炉体一侧的盖板，所述中空壳体与所述盖板围成一与密闭炉体连通的腔体，所述密封圈与金属垫圈设于所述腔体内，所述空心管以及热电偶设于密闭炉体内的一端贯穿所述盖板。

7.如权利要求3所述的真空热压烧结装置，其特征在于，所述真空热压烧结装置还包括第二密封固定单元，所述第二密封固定单元位于所述热电偶的冷端，包括设于所述空心管内并套设在所述热电偶周围的多个密封圈以及多个金属垫圈，所述第二密封固定单元用于固定热电偶并使空心管伸出密闭炉体的一端保持密封。

8.如权利要求7所述的真空热压烧结装置，其特征在于，所述密封圈与金属垫圈沿空心管轴向排列且交替设置。

9.如权利要求3所述的真空热压烧结装置，其特征在于，所述移动单元与所述空心管的外壁固定连接，用于带动所述空心管以及热电偶移动。

10.如权利要求1所述的真空热压烧结装置，其特征在于，所述移动单元包括：与所述测温单元固定连接的传动部件、控制所述传动部件移动的伺服电机、控制所述伺服电机停止或启动的继电器；所述移动单元还包括与所述测温单元相连接的控制器，用于根据测温单元测得的温度控制所述继电器，继而控制所述伺服电机。

11.如权利要求10所述的真空热压烧结装置，其特征在于，所述定位单元包括分别位于传动部件移动方向上不同位置的至少两个感应开关；

所述感应开关用于在所述传动部件移动至感应开关对应位置时，控制所述继电器，以使伺服电机停止控制所述传动部件移动从而定义测温单元与所述发热体的距离。

12.一种测温方法，其特征在于，包括：通过测温单元对真空烧结装置中位于密闭炉体内的发热体进行温度测量；判断发热体的温度与阈值温度的相对大小；

当所述发热体的温度低于所述阈值温度时，减小测温单元与发热体之间的距离或者接触所述发热体；

当所述发热体的温度高于所述阈值温度时，增大测温单元与发热体之间的距离。

13.如权利要求12所述的测温方法，其特征在于，所述阈值温度为700摄氏度。