[发明专利]激光切割真空吸附平台有效

专利信息
申请号: 201410299397.9 申请日: 2014-06-26
公开(公告)号: CN104096980A 公开(公告)日: 2014-10-15
发明(设计)人: 张德龙;吴玉彬;黄波;王忠生;刘轩;郑福志;金钊;张男男;田玉鑫 申请(专利权)人: 长春光华微电子设备工程中心有限公司
主分类号: B23K26/70 分类号: B23K26/70;B23K26/38
代理公司: 长春吉大专利代理有限责任公司 22201 代理人: 王淑秋
地址: 130033 吉林*** 国省代码: 吉林;22
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摘要:
搜索关键词: 激光 切割 真空 吸附 平台
【权利要求书】:

1.一种激光切割真空吸附平台,其特征在于包括真空吸附平台组件(7);所述真空吸附平台组件(7)包括吸附平台过渡连接板(7-02),吸盘连接座(7-03),真空吸盘(7-05),吸盘上密封圈(7-07),吸盘下密封圈(7-08);吸附平台过渡连接板(7-02)上加工有螺纹孔,旋转气管接头(7-06)与该螺纹孔连接;吸盘连接座(7-03)位于吸附平台过渡连接板(7-02)之上,两者之间带有空腔(7-021),且在空腔(7-021)的外围两者接合面处由吸盘下密封圈(7-08)密封;吸盘连接座(7-03)上表面加工有相互交错的气道(7-032);真空吸盘(7-05)位于吸盘连接座(7-03)之上,其下表面的加强筋(7-051)支撑于吸盘连接座(7-03)的上表面,两者四周接合面处通过吸盘上密封圈(7-07)密封;吸盘连接座(7-03)上分布有多个将气道(7-032)与空腔(7-021)连通的真空孔(7-031);真空吸盘(7-05)的上端面加工有网格状沟槽(7-053),将整个真空吸盘(7-05)的上端面分割成行列排布的方块(7-052),各方块(7-052)处加工有垂直方向的吸附透孔(7-054)。

2.根据权利要求1所述的激光切割真空吸附平台,其特征在于还包括位于真空吸盘外围的方环形吸盘盖板(7-04);所述吸盘连接座(7-03)的上表面中间部分加工有相互交错的气道(7-032),外围部分为平面;吸盘盖板(7-04)与吸盘连接座(7-03)的外围部分连接,连接后吸盘盖板(7-04)的上端面低于真空吸盘(7-05)的上端面。

3.根据权利要求1所述的激光切割真空吸附平台,其特征在于所述吸附平台过渡连接板(7-02)的顶面带有凸环(7-022),该凸环(7-022)嵌入吸盘连接座(7-03)底部的凹陷部分并与该凹陷部分的底面构成空腔(7-021)。

4.根据权利要求1所述的激光切割真空吸附平台,其特征在于还包括X向直线运动机构,Y向直线运动机构,θ向旋转运动机构,旋转机构连接板(7-15),第一X向拖链固定板(7-21),第二X向拖链固定板(7-22),X向拖链(7-23),第一Y向拖链固定板(7-24),第二Y向拖链固定板(7-25),Y向拖链(7-26);所述X向直线运动机构的可动部件(7-12)与Y向直线运动机构的固定部件(7-13)连接;θ向旋转运动机构的固定部件(7-16)通过旋转机构连接板(7-15)与Y向直线运动机构的可动部件(7-14)连接,θ向旋转运动机构的可动部件(7-17)通过吸附平台底座(7-01)与吸附平台过渡连接板(7-02)固定连接;X向拖链(7-23)的一端通过第一X向拖链固定板(7-21)与X向直线运动机构的固定部件(7-11)连接,另一端通过第二X向拖链固定板(7-22)与X向直线运动机构的可动部件(7-12)连接;第一Y向拖链固定板(7-24)与X向直线运动机构的可动部件(7-12)连接,第二Y向拖链固定板(7-25)与Y向直线运动机构的可动部件(7-14)连接,Y向拖链(7-26)的两端分别与第一Y向拖链固定板(7-24)和第二Y向拖链固定板(7-25)连接。

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