[发明专利]线放电加工设备和方法、电源设备、半导体基板制造方法

权利要求书

1.一种用于对工件进行放电加工的线放电加工设备，所述线放电加工设备包括：

多个主辊，线平行地缠绕所述多个主辊；

多个工件给进单元，被布置成将所述工件向着缠绕所述多个主辊的线给进；

加工电源单元，被构造成向所述工件供应加工电压；以及

电源端子，被构造成向缠绕所述多个主辊的线供应所述加工电压，

其中所述多个工件给进单元分别布置在第一位置和第二位置，在所述第一位置，向着具有平行缠绕所述多个主辊的线的线平面的线部分给进工件，在所述第二位置，向着具有平行缠绕所述多个主辊的线的另一线平面的另一线部分给进另一工件，

其中所述电源端子布置在所述第一位置和所述第二位置之间的第三位置，在所述第三位置，线平行缠绕所述多个主辊，并且

其中所述加工电压被从单个加工电源单元供应到将由所述多个工件给进单元而被放电加工的工件。

2.根据权利要求1所述的线放电加工设备，所述线放电加工设备还包括驱动单元，所述驱动单元被布置成改变布置所述电源端子的第三位置，从而调节平行缠绕所述多个主辊的线的所述第一位置和所述第三位置之间的第一距离并且一起调节平行缠绕所述多个主辊的线的所述第二位置和所述第三位置之间的第二距离，

其中，当在放电加工之前预先测得的具有大致相同电阻率值的工件由所述多个工件给进单元而被分别放电加工时，所述驱动单元移动所述电源端子，使得所述第一距离和所述第二距离变成彼此相等。

3.根据权利要求2所述的线放电加工设备，其中，当在放电加工之前预先测得的具有不同电阻率值的工件由所述多个工件给进单元而被分别放电加工时，所述驱动单元移动所述电源端子，使得所述第一距离和所述第二距离之比和之差中的一个变成基于预先测得的电阻率值之比和之差中的一个而确定的值。

4.根据权利要求3所述的线放电加工设备，其中所述驱动单元将所述电源端子移动到接近具有预先测得的较高电阻率值的工件的位置，以执行放电加工。

5.根据权利要求2所述的线放电加工设备，其中，当在尽管由于工件之间的材料和三维形状之一而视在电阻率值相同的情况下，在放电加工之前预先测得的具有不同电阻率值的工件通过由所述多个工件给进单元来给进工件而分别被放电加工时，所述驱动单元移动所述电源端子，使得所述第一距离和所述第二距离之比和之差中的一个变成基于预先测得的电阻率值之比和之差中的一个而确定的值。

6.根据权利要求1所述的线放电加工设备，

其中所述电源端子布置在缠绕所述多个主辊的线的多个位置处，

其中所述多个工件给进单元分别布置在等量划分缠绕所述主辊的线的行进距离的位置处。

7.根据权利要求1所述的线放电加工设备，

其中所述电源端子布置在缠绕所述多个主辊的线的多个位置处，

其中沿着平行缠绕所述多个主辊的线布置的电源端子的数目和工件给进单元的数目彼此相等，并且

其中所述多个电源端子和布置在所述多个位置处的所述工件给进单元沿着平行缠绕所述多个主辊的线一个一个地交替布置。

8.一种用于对工件进行放电加工的线放电加工系统，所述线放电加工系统包括：

线放电加工设备，其包括：

多个主辊，线平行地缠绕所述多个主辊；

多个工件给进单元，被布置成将所述工件向着缠绕所述多个主辊的线给进；以及

电源端子，被构造成向着缠绕所述多个主辊的线供应加工电压；以及

电源设备，包括加工电源单元，所述加工电源单元被构造成向所述工件供应所述加工电压；

其中所述多个工件给进单元分别布置在第一位置和第二位置，在所述第一位置，向着具有平行缠绕所述多个主辊的线的线平面的线部分给进工件，在所述第二位置，向着具有平行缠绕所述多个主辊的线的另一线平面的另一线部分给进另一工件，

其中所述电源端子布置在所述第一位置和所述第二位置之间的第三位置，在所述第三位置，线平行缠绕所述多个主辊，并且

其中所述加工电压被从单个加工电源单元供应到将由所述多个工件给进单元而被放电加工的工件。