[发明专利]半导体装置在审
申请号: | 201410302822.5 | 申请日: | 2014-06-30 |
公开(公告)号: | CN104733404A | 公开(公告)日: | 2015-06-24 |
发明(设计)人: | 安井勝祐 | 申请(专利权)人: | 株式会社东芝 |
主分类号: | H01L23/36 | 分类号: | H01L23/36;H01L23/498 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 陈华成 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体 装置 | ||
关联申请
本申请享受以日本专利申请2013-263093号(申请日:2013年12月19日)为基础申请的优先权。本申请通过参照该基础申请而包括基础申请的全部内容。
技术领域
本发明的实施方式涉及半导体装置。
背景技术
例如,分立半导体元件等半导体芯片与电路基板的一个面连接,对电路基板的另一个面经由焊锡连接散热板等。然后,以使散热板的一部分露出的方式,将半导体芯片、电路基板以及散热板用树脂等密封,做成半导体装置。
在使用半导体装置时,从半导体元件产生热。该热从散热板等放出,但通过多次的加热和冷却,例如,焊锡和散热板的接合性存在整体地劣化的可能性。焊锡和散热板的接合性的劣化引起半导体装置的散热性恶化。即,焊锡和散热板的接合性的劣化具有引起半导体装置的破坏的可能性。
发明内容
本发明想要解决的问题在于,提供一种能够抑制散热性的恶化的半导体装置。
实施方式的半导体装置具有:基板;半导体芯片,设置于所述基板的一个面;第1金属图案,设置于与所述一个面相对的另一个面的中央,并具有第1角部;第2金属图案,具有角度比所述第1角部小的第2角部,在所述另一个面与所述第1金属图案隔离地设置;以及热传导材料,经由焊锡与所述第1金属图案以及所述第2金属图案连接。
附图说明
图1是示出本实施方式的电路基板30的构造的鸟瞰图。
图2是从图1的A方向观察的电路基板30的俯视图。
图3是示出本实施方式的半导体装置10的剖面构造的剖面图。
图4是示出比较例的电路基板40的构造的鸟瞰图。
图5是从图4的B方向观察的电路基板40的俯视图。
具体实施方式
以下,参照附图,说明本发明的实施方式。在进行该说明时,在全部附图中,对共同的部分附加共同的符号。附图的尺寸比例不限于图示的比例。另外,本实施方式不限定本发明。
参照图1、图2以及图3,说明本发明的实施方式的半导体装置10的构造。图1是示出本实施方式的电路基板30的构造的鸟瞰图,图2是从图1的A方向观察的电路基板30的俯视图,图3示出表示本实施方式的半导体装置10的剖面构造的剖面图。
电路基板30具有陶瓷基板(基板)31、表面金属图案32、第1金属图案33、以及第2金属图案34。陶瓷基板31是板状,具有例如是矩形的一个面(表面)、和与表面相对的另一个面(背面)。另外,陶瓷基板31由例如氧化铝构成,但没有特别限定。在陶瓷基板31的表面,设置了表面金属图案31。表面金属图案31被分成用于连接半导体芯片11的部分、和用于连接外部连接电极14的部分。另外,在图1中,用于连接半导体芯片11的部分设置有一处,用于连接外部连接电极14的部分设置有两处,但这仅为一个例子,也可以设置多个。另外,即使未设置用于连接外部连接电极14的部分,也能够实施。
在陶瓷基板31的背面设置了第1金属图案33和第2金属图案34。此处,如图2所示,第1金属图案33设置于陶瓷基板31的背面的中央部,第2金属图案34设置于陶瓷基板31的背面的角部。另外,相间隔地设置着第1金属图案33和第2金属图案34。
半导体装置10具有半导体芯片11、安装焊锡12、接合线13、外部连接电极14、背面焊锡15、散热板(热传导材料)16、树脂17、以及电路基板30。半导体芯片11是包括例如MOSFET(Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor,金属氧化物半导体场效应晶体管)的纵向功率半导体元件,在半导体芯片11的一个面,源电极露出,在另一个面,漏电极露出(未图示)。另外,在半导体芯片11的表面,与栅电极连接了的电极也露出(未图示)。半导体芯片11通过MOSFET以外的部件也能够实施,例如,也可以是绝缘栅双极晶体管(Insulated Gate Bipolar Transistor;IGBT)、二极管等。
在陶瓷基板31的表面设置了的表面金属图案32上,经由安装焊锡12固定半导体芯片11。例如,在半导体芯片11的另一个面露出了的漏电极通过使用了安装焊锡12的锡焊,与表面金属图案32连接。在半导体芯片11的一个面露出了的源电极和栅电极通过接合线13,与未连接有半导体芯片11的表面金属图案32分别电连接。
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