[发明专利]晶硅片切割用复合螯合剂有效
| 申请号： | 201410304130.4 | 申请日： | 2014-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN104087364A | 公开（公告）日： | 2014-10-08 |
| 发明（设计）人： | 徐元清;阳辉;陈亚丽;高敏杰;宋漫漫;申君来;辛玲;张志刚;曹勋 | 申请（专利权）人： | 河南新大新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C10M141/10 | 分类号： | C10M141/10;C10M161/00;C10M141/06 |
| 代理公司： | 河南科技通律师事务所 41123 | 代理人： | 樊羿 |
| 地址： | 475000 河南*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 硅片 切割 复合 螯合剂 | ||
【权利要求书】：
1. 一种晶硅片切割用复合螯合剂，其特征在于：所述复合螯合剂由以下重量百分比的原料组成：羟基羧酸25～50%、有机磷酸20～50%、胺类化合物15～30%和有机溶剂5～20%。
2. 根据权利要求1所述晶硅片切割用复合螯合剂，其特征在于：所述羟基羧酸为柠檬酸、酒石酸、葡萄糖酸、聚丙烯酸和马来酸中的至少一种。
3. 根据权利要求1所述晶硅片切割用复合螯合剂，其特征在于：所述有机磷酸为氨基三亚甲基膦酸、羟基亚乙基二膦酸、聚磷酸、肌醇六磷酸和乙二胺四亚甲基膦酸中的至少一种。
4. 根据权利要求1所述晶硅片切割用复合螯合剂，其特征在于：所述胺类化合物为二苯胺、对苯二胺、羟乙基乙二胺和三乙醇胺中的至少一种。
5. 根据权利要求1所述晶硅片切割用复合螯合剂，其特征在于：所述有机溶剂为甲醇、乙醇、异丙醇和正丁醇中的至少一种。
6. 根据权利要求1所述晶硅片切割用复合螯合剂，其特征在于：所述复合螯合剂由以下重量百分比的原料组成：马来酸为34%、乙二胺四甲基膦酸为42%、三乙醇胺为17%和乙醇为7%。
7. 根据权利要求1所述晶硅片切割用复合螯合剂，其特征在于：所述复合螯合剂的制备方法如下：
在20～40℃条件下，将所述羟基羧酸、有机磷酸、胺类化合物和有机溶剂按所述比例混合，再经过超声混合1～1.5小时后，即得本发明复合螯合剂。
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