[发明专利]一种高效紧凑矩形环谐振腔波导型光滤波器有效
| 申请号： | 201410304912.8 | 申请日： | 2014-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN104090331B | 公开（公告）日： | 2017-01-11 |
| 发明（设计）人： | 王爽;刘克;张成龙 | 申请（专利权）人： | 北京工业大学 |
| 主分类号： | G02B6/122 | 分类号： | G02B6/122;G02B6/293 |
| 代理公司： | 北京思海天达知识产权代理有限公司11203 | 代理人： | 纪佳 |
| 地址： | 100124 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 高效 紧凑 矩形 谐振腔 波导 滤波器 | ||
1.一种高效紧凑矩形环谐振腔波导型光滤波器，其特征在于：由单模光波导构成封闭的长矩形，两条相互平行的直条单模光波导垂直穿过矩形波导两条长边，分别与矩形波导交叉；矩形波导端部在十字交汇处之间部分为相移臂(4)；两条直条波导中间被矩形波导分割的部分为参考臂(5)，矩形长边被两条平行波导分割的部分为连接波导(6)；任一直条波导端部与十字交汇处之间的部分为输入波导(1)，与其在同一直条波导的另一端与相邻十字交汇处之间的部分为输出波导Ⅰ(8)，与输入波导相邻的另一条直波导端部与相邻十字交汇处之间的部分为输出波导Ⅱ(9)；输出波导Ⅱ(9)所在的直条波导另一端与相邻十字交汇处之间部分为复用波导(10)。在矩形波导直角外侧，沿波导传播方向成45°角方向刻蚀切面，构成全反射镜(7)；矩形波导与直条波导交叉处，分别沿相邻的全反射镜(7)平行方向刻蚀微纳沟槽(2)。
2.根据权利要求(1)所述的一种高效紧凑矩形环谐振腔波导型光滤波器，其特征在于：沟槽(2)内填充沟槽介质材料(3)，所述沟槽介质材料(3)包括空气、聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)、SU‐8聚合物、三氧化二铝、二氧化锆；所述沟槽与各波导角度大于波导材料与沟槽填充材料所构成的介质界面的全反射角。
3.根据权利要求1所述的一种高效紧凑矩形环谐振腔波导型光滤波器，其特征在于：所述波导输入端为输入波导(1)的耦合端面(1a)；输出端分别为输出波导Ⅰ(8)的耦合端面(8a)和输出波导Ⅱ(9)的耦合端面(9a)；输入波导、输出波导Ⅰ(8)、输出波导Ⅱ(9)、复用波导(10)完全等价，可以分别作为输入输出端口，实现交叉复用。
4.根据权利要求1、2、3所述的高效紧凑矩形环谐振腔波导型光滤波器，其特征在于：制作在硅或绝缘体上硅(Silicon on insulator，SOI)或GeSi/Si或GaAs或GaAs/AlGaAs以及InP/InGaAsP半导体衬底材料的一种基底材料上。
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