[发明专利]一种角反射器回光特性标定的装置及方法在审
申请号: | 201410306251.2 | 申请日: | 2014-06-30 |
公开(公告)号: | CN104062097A | 公开(公告)日: | 2014-09-24 |
发明(设计)人: | 周艳;赵建科;刘峰;昌明;徐亮;王争锋 | 申请(专利权)人: | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02 |
代理公司: | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人: | 杨引雪 |
地址: | 710119 陕西省西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 反射 器回光 特性 标定 装置 方法 | ||
1.一种角反射器回光特性标定的方法,其特征在于,包括以下步骤:
1]对平行光束进行分束,分为两路光束,分别为参考光束和实际光束;直接测试参考光束的能量值,并记录为ξ1,实际光束经待测角反射器反射后测试能量值,并记录为ξ2;所述平行光束的直径小于等于角反射器有效口径,待测角反射器的光轴与平行光束的光轴重合;
2]对待测角反射器的位置进行多维度调整,每调整一次后重新测量参考光束和实际光束的能量值,得到n组ξ1i和ξi2;
3]通过多组ζ1i和ζi2,计算出n个回光效率η:计算回光一致性:
2.根据权利要求1所述的角反射器回光特性标定的方法,其特征在于:所述步骤3中的修正系数τ是通过已知绝对反射率ρ的标准镜面测试后获取,其具体是:对平行光束进行分束,分为两路光束,分别为参考光束和实际光束;直接测试参考光束的能量值,并记录为ζ1,实际光束经已知绝对反射率ρ的标准镜面反射后测试能量值,并记录为ζ2,通过得到修正系数τ;所述实际光束经反射后光轴应与入射时光轴共线。
3.根据权利要求2所述的角反射器回光特性标定的方法,其特征在于:所述步骤1中对平行光束进行分束是通过半透半反镜实施;所述步骤1中平行光束的直径通过可变光阑调整至小于等于角反射器有效口径。
4.根据权利要求3所述的角反射器回光特性标定的方法,其特征在于:所述步骤1具体是:平行光束入射到半透半反镜上,分为参考光束和实际光束,参考光束经半透半反镜前表面反射直接进入第一探测器组件转化为电信号;实际光束透过半透半反镜照射到待测角反射器表面,反射后按原方向返回入射到半透半反镜上,由半透半反镜后表面反射后进入第二探测器组件转化为电信号。
5.根据权利要求4所述的角反射器回光特性标定的方法,其特征在于:所述步骤2中对对待测角反射器的位置进行多维度调整具体是:将待测角反射器安装至五维调整工装上,控制五维调整工装的X平移台和水平旋转台联动,在待测角反射器视场内得到多组ξ1i和ξi2。
6.一种角反射器回光特性标定的装置,其特征在于:包括用于生成平行光束的光源组件,半透半反镜,用于将入射光信号转化为电信号的第一探测器组件和第二探测器组件,用于承载待测角反射器或标准反射镜、并带动待测角反射器进行多维调整的调整工装;所述透半反镜靠近光源一侧为前表面,远离光源一侧为后表面,平行光束经前表面反射的部分入射至第一探测器组件,平行光束经后表面反射的部分入射至第二探测器组件。
7.根据权利要求6所述的角反射器回光特性标定的装置,其特征在于:所述第一探测器组件沿光路方向依次包括会聚镜和接收积分球,积分球上设置有光电倍增管。
8.根据权利要求7所述的角反射器回光特性标定的装置,其特征在于:所述调整工装是五维调整工装,所述五维调整工装包括三个平移台、用于调节光轴入射至待测角反射器俯仰位置的倾斜台和用于使待测角反射器绕光轴旋转的旋转台,所述三个平移台分别是用于使待测角反射器沿着光轴前后运动的Z方向平移台,使待测角反射器垂直光轴左右运动的X方向平移台,使待测角反射器垂直光轴上下运动的Y方向平移台。
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