[发明专利]NOx传感器芯片

权利要求书

1.一种NOx传感器的芯片，其特征在于，由六层基片层叠构成，包括第一基片、第二基片、第三基片、第四基片、第五基片以及第六基片从上至下依次叠压，所述的第一基片上表面设有泵氧外电极，所述的泵氧外电极上覆盖第一多孔保护层；所述的第二基片中包含第一空腔、第二空腔、第三空腔和第四空腔，所述的第一空腔与所述的第二空腔之间设有第一气体扩散障层，所述的第二空腔与所述的第三空腔之间设有第二气体扩散障层，所述的第三空腔与所述的第四空腔之间设有第三气体扩散障层，所述的第三空腔内设有主泵氧电极，所述的第四空腔内设有辅助泵氧电极和测试电极，所述的测试电极上覆盖第二多孔保护层；所述的第四基片设有与大气相连的参比气体通道，在所述的参比气体通道的顶部即所述的第三基片的下表面设有参比电极；所述的第五基片与所述的第六基片之间设有加热电极。

2.根据权利要求1所述的NOx传感器的芯片，其特征在于，所述的主泵氧电极以及所述的辅助泵氧电极的材料均为对NOx化合物无催化作用的金属陶瓷。

3.根据权利要求2所述的NOx传感器的芯片，其特征在于，所述金属陶瓷主要由贵金属Pt90～95％wt％、Au0.5～1.0％wt％和陶瓷粉体ZrO₂1.0～10.0％wt％组成。

4.根据权利要求1所述的NOx传感器的芯片，其特征在于，所述的基片材料为掺杂5mol％Y₂O₃的部分稳定氧化锆粉体。

5.根据权利要求1所述的NOx传感器的芯片，其特征在于，所述的测试电极的材料中含有Pt以及少量的Pd或Rh两种金属中的一种。

6.根据权利要求1所述的NOx传感器的芯片，其特征在于，所述的泵氧外电极、所述的参比电极的材料为贵金属Pt90～95％wt％以及掺杂有少量的ZrO₂5.0～10.0％wt％组成。

7.根据权利要求1所述的NOx传感器的芯片，其特征在于，所述第二多孔保护层的材质为氧化铝或者氧化锆。

8.根据权利要求1所述的NOx传感器的芯片，其特征在于，所述加热电极的上下表面均覆有绝缘层。

9.根据权利要求8所述的NOx传感器的芯片，其特征在于，所述绝缘层的材料为致密氧化铝。

10.根据权利要求1所述的NOx传感器的芯片，其特征在于，所述的第一层气体扩散障层、所述的第二层气体扩散障层以及第三层气体扩散障层的材料均为氧化锆。