[发明专利]大型环抛机抛光胶盘面形检测装置无效
| 申请号： | 201410307080.5 | 申请日： | 2014-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN104034284A | 公开（公告）日： | 2014-09-10 |
| 发明（设计）人： | 陈军;朱宝钤;徐学科;顿爱欢;顾建勋;李颖峰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 大型 环抛机 抛光 盘面 检测 装置 | ||
1.一种大型环抛机抛光胶盘面形检测装置，其特征在于该装置包括固定在抛光机机架上的带有光尺(5)的平直导轨(1)，固定在平直导轨(1)上的位移调节装置(11)及其驱动沿所述的平直导轨(1)移动的移动台(12)，依次封装的激光器(2)、透镜组(3)、狭缝光阑(4)、分光棱镜(7)和准直棱镜(8)固定地悬挂在所述的平直导轨的下方，所述的狭缝光阑(4)的中心位于透镜组(3)的焦点，五角棱镜或反射镜(13)通过夹持装置固定在移动台(12)内，一可伸缩套筒(14)和所述的移动台(12)的下方刚性连接，一底座(15)和所述的可伸缩套筒(14)铰接后放置在抛光胶盘(17)上；一直角棱镜(16)安放在所述的底座(15)的直角棱镜槽内，所述的直角棱镜(16)的直角棱贴合在所述的抛光胶盘(17)上，沿所述的激光器(2)发出的激光束方向，依次经所述的透镜组(3)、狭缝光阑(4)、分光棱镜(7)、准直透镜(8)、五角棱镜或反射镜(13)，经五角棱镜或反射镜(13)的反射光投射到所述的直角棱镜(16)上，经该直角棱镜(16)的反射光返回，再经五角棱镜或反射镜(13)、分光棱镜(7)反射后成像在CCD(6)上。
2.根据权利要求1所述的大型环抛机抛光胶盘面形检测装置，其特征在于所述的五角棱镜或反射镜(13)和直角棱镜(16)的透射面镀有增透膜，反射面镀有反射膜。
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