[发明专利]ZrS3纳米带薄膜的柔性光探测器

权利要求书

1.ZrS₃纳米带薄膜的柔性光探测器：这种探测器是将ZrS₃纳米带薄膜通过单面胶带粘贴转移到PP薄膜上，或用双面胶带转移到纸和PET薄膜上，制作金属丝和纸框架掩膜，再真空蒸镀导电材料电极，揭去掩膜后，在该薄膜上有了两个以上的导电电极，这就构成了柔性的光探测器。

2.ZrS₃纳米带薄膜的柔性光探测器的整个制作工艺。普通的透明的单面胶带或双面带按一定的尺寸剪小并将胶粘面粘贴到已经制备好的ZrS₃纳米带薄膜上并按压，剥开胶带，此时ZrS₃纳米带薄膜就转移到胶带上。如保留在单面胶带上此胶带成为基底(PP薄膜)，保留在双面胶带上另一面的纸做基地，如果预先将双面胶带粘在其它柔性基底(如PET薄膜)上按同样方法转移，形成其他柔性基底的器件。然后在转移后的薄膜上按一定的间隔平行放置直径从微米到毫米量级的金属丝或其他材质的耐一定高温的线作为遮蔽物，然后用纸剪一框式掩膜将薄膜的边缘覆盖(让带有金属线薄膜在框中暴露出来)。然后真空蒸镀导电材料如Ti/Au，Au，Cr/Au，ITO，Cu，Al等，移去上层掩膜和金属线，就形成光探测器。