[发明专利]一种金属表面硅烷涂层缓蚀剂有效
| 申请号： | 201410311848.6 | 申请日： | 2014-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN104060276A | 公开（公告）日： | 2014-09-24 |
| 发明（设计）人： | 王琪宇;许益生;陈桂红 | 申请（专利权）人： | 衢州市万能达清洗有限公司 |
| 主分类号： | C23F11/16 | 分类号： | C23F11/16 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 324004 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 金属表面 硅烷 涂层 缓蚀剂 | ||
【权利要求书】：
1.一种金属表面硅烷涂层缓蚀剂，其特征在于包括以下步骤：
步骤1.纳米氟碳铈CeFCO3表面聚合：
将一定量的纳米氟碳铈CeFCO3分散到乙醇中，按下述比例加入丙烯酸三氟乙酯单体，过氧化苯甲酰和聚乙烯醇、十二烷基苯磺酸钠等，升温，在60-80℃反应6-15小时，即得到经表面聚合的纳米氟碳铈CeFCO3微悬浮液。
步骤2.加入离子液：
纳米氟碳铈CeFCO3微悬浮液与1-己基-2，3-二甲基咪唑四氟硼酸盐以质量比为95-99：1-5的配比在反应釜中混合10-40hr，得到产品。
2.根据权利要求1所述的一种金属表面硅烷涂层缓蚀剂，其特征在于，主要组分包括氟碳铈CeFCO3微悬浮液，1-己基-2，3-二甲基咪唑四氟硼酸盐。
3.根据权利要求1-2中所述得到的任一种金属表面硅烷涂层缓蚀剂。
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