[发明专利]光刻胶的胶瓶盖子及胶瓶

说明书

技术领域

本发明涉及半导体制造设备技术领域，具体来说，本发明涉及一种光刻胶的胶瓶盖子及胶瓶。

背景技术

图1为现有技术中的一种用于向涂胶设备供胶的光刻胶的胶瓶盖子的立体结构示意图。如图1所示，现有的涂胶设备(未图示)的供胶方式是在光刻胶胶瓶100的胶瓶盖子101上钻两个孔眼，让供胶管道(outlet)102和回流管道(vent)103分别通过孔眼的胶瓶盖子101伸入胶瓶100，实现供胶和回流的功能。

但是，现有的供胶方式受限于胶瓶盖子101的构造，致使供胶管道102和回流管道103无法被固定，导致供胶管道102经常不插到胶瓶100的瓶底(即供胶管道102经常悬空)，造成向涂胶设备供胶时抽空，机台上的晶圆(wafer)缺胶。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种光刻胶的胶瓶盖子及胶瓶，能够将供胶管道和回流管道与胶瓶盖子固定，防止供胶管道因不插到瓶底而造成的管道抽空，避免晶圆缺胶。

为解决上述技术问题，本发明提供一种光刻胶的胶瓶盖子，包括瓶帽、帽芯、盖板和胶管引导锁紧件；

其中，所述瓶帽通过其下部内侧的螺纹与光刻胶的胶瓶的瓶口螺纹连接；所述帽芯位于所述瓶口的上方、所述瓶帽的上部内侧；所述盖板位于所述瓶帽和所述帽芯的上方，并与所述帽芯相固定；所述盖板与所述帽芯之间形成一环形凹槽，所述瓶帽的上部前端嵌入所述环形凹槽中，使所述瓶帽跟所述盖板与所述帽芯之间既不可分离又能彼此独立转动；所述帽芯和所述盖板上均钻有上下贯通的孔眼，所述胶管引导锁紧件从所述孔眼中穿过，并与所述帽芯和/或所述盖板之间螺纹固定；所述胶管引导锁紧件的内部中空，引导光刻胶的胶管从中穿过而插入至所述胶瓶内适当深度，并将所述胶管与所述胶瓶盖子之间锁紧固定。

可选地，所述胶管引导锁紧件包括胶管引导件、螺母和胶管锁紧件；

其中，所述螺母位于所述胶管引导件的中部并与之相固定；所述胶管引导件的上部和下部均具有螺纹，其下部的螺纹用于使所述胶管引导锁紧件与所述帽芯和/或所述盖板之间固定，其上部的螺纹用于使所述胶管锁紧件与所述胶管引导件之间固定，将所述胶管固定于所述胶管引导锁紧件上，从而最终使得所述胶管与所述胶瓶盖子之间实现锁紧固定。

可选地，所述帽芯和所述盖板上钻有上下贯通的两个孔眼，对应采用的所述胶管引导锁紧件为两套，分别用于引导光刻胶的一供胶管道和一回流管道从中穿过，在所述供胶管道插入至所述胶瓶的瓶底后，将所述供胶管道和所述回流管道与所述胶瓶盖子之间锁紧固定。

可选地，所述胶瓶盖子的整体材质为PVC料。

为解决上述技术问题，本发明还提供一种光刻胶的胶瓶，包括上述任一项所述的胶瓶盖子。

与现有技术相比，本发明具有以下优点：

本发明通过采用接头锁紧螺母方式，将光刻胶的供胶管道和回流管道与胶瓶盖子锁定，使得供胶管道固定处于胶瓶的瓶底，防止供胶管道因不插到瓶底而造成的管道抽空，晶圆缺胶。

本发明通过极小的成本和相对简单的设备改进，避免了晶圆缺胶，提高了生产合格率。

附图说明

本发明的上述的以及其他的特征、性质和优势将通过下面结合附图和实施例的描述而变得更加明显，其中：

图1为现有技术中的一种用于向涂胶设备供胶的光刻胶的胶瓶盖子的立体结构示意图；

图2为本发明一个实施例的用于向涂胶设备供胶的光刻胶的胶瓶盖子的剖面结构示意图；

图3为图2所示实施例的光刻胶的胶瓶盖子中胶管引导锁紧件的单独剖面结构示意图。

具体实施方式

下面结合具体实施例和附图对本发明作进一步说明，在以下的描述中阐述了更多的细节以便于充分理解本发明，但是本发明显然能够以多种不同于此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下根据实际应用情况作类似推广、演绎，因此不应以此具体实施例的内容限制本发明的保护范围。

图2为本发明一个实施例的用于向涂胶设备供胶的光刻胶的胶瓶盖子的剖面结构示意图。需要注意的是，这个以及后续其他的附图均仅作为示例，其并非是按照等比例的条件绘制的，并且不应该以此作为对本发明实际要求的保护范围构成限制。如图2所示，该胶瓶盖子201可以安装于光刻胶的胶瓶200上。为突出重点，该胶瓶200仅示出所安装的瓶口部分，而未示出所有的部分。该胶瓶盖子201的整体材质上可以为PVC料，结构上主要包括瓶帽202、帽芯204、盖板206和胶管引导锁紧件208等部件。