[发明专利]用于人工长晶的熔汤表面流速测定方法及长晶设备

权利要求书

1.一种用于人工长晶的熔汤表面流速测定方法，其特征在于，包含：

A、先后摄得熔汤表面的第一影像与第二影像，这两个影像摄得的时间间隔为Δt；

B、将该第一影像中的区块定义为多个第一网格区域，并计算这些网格区域分别对应的第一形心坐标；

C、将该第二影像中的区块定义为多个第二网格区域，并计算这些网格区域分别对应的第二形心坐标；

D、取得位于这些第一网格区域内的第二形心坐标，计算这些第一网格区域内对应的第二形心坐标与第一形心坐标间的形心位移，以取得多个形心位移；

E、根据多个形心位移以及Δt，计算熔汤表面流速。

2.如权利要求1所述的熔汤表面流速测定方法，其特征在于，进一步包含：

重复多次步骤A～D，将前次的第二影像，当作下次的第一影像，取得多个形心在两个以上的影像中的连续形心位移；以及

于步骤E中，根据该多个形心的连续形心位移以及Δt，计算两个以上连续影像中的熔汤表面流速。

3.如权利要求2所述的熔汤表面流速测定方法，其特征在于，进一步包含：

于步骤D中，根据该多个形心位移以及Δt，计算这些形心的移动速率，当一个形心的移动速率大于15cm/秒时，定义该形心为不信任形心，于后续的计算中移除该不信任形心的形心位移。

4.如权利要求3所述的熔汤表面流速测定方法，其特征在于，进一步包含：

于步骤B中，当一个网格区域的面积小于25cm²时，定义该网格区域为不信任区域，于后续的计算中移除该不信任区域。

5.如权利要求4所述的熔汤表面流速测定方法，其特征在于，进一步包含：

当一个形心的连续形心位移中的各个形心位移变化过大时，定义该形心为不信任形心，于后续的计算中移除该不信任形心的形心位移。

6.如权利要求5所述的熔汤表面流速测定方法，其特征在于，进一步包含：

于步骤D中，假设这些形心位移为常态分布，计算这些形心位移的标准偏差及平均值，当一个形心的形心位移与平均值相差两个标准偏差以上时，定义该形心为不信任形心，于后续的计算中移除该不信任形心的形心位移。

7.如权利要求6所述的熔汤表面流速测定方法，其特征在于，根据该多个形心的连续形心位移以及这两个影像拍摄的时间间隔，计算该多个形心的平均移动速率，根据该多个形心的平均移动速率的平均值定义熔汤表面流速。

8.如权利要求6所述的熔汤表面流速测定方法，其特征在于，根据该多个形心的连续形心位移以及这两个影像拍摄的时间间隔，计算该多个形心的平均移动速度，根据该多个形心的平均移动速度的平均值定义熔汤表面流速。

9.如权利要求8所述的熔汤表面流速测定方法，其特征在于，当一个形心的平均移动速度与其他形心的平均移动速度差异过大时，定义该形心为不信任形心，于后续的计算中移除该不信任形心的形心位移。

10.如权利要求9所述的熔汤表面流速测定方法，其特征在于，于步骤A中，进一步针对该第一影像及与第二影像进行二值化的图像处理。

11.如权利要求10所述的熔汤表面流速测定方法，其特征在于，这两个影像拍摄的时间间隔Δt为1/30秒。

12.一种人工长晶设备，其特征在于，根据如权利要求1至10中任一项所述的熔汤表面流速测定方法测定熔汤表面流速。

13.如权利要求12所述的人工长晶设备，其特征在于，该人工长晶设备根据所测得的熔汤表面流速控制一加热线圈的加热功率。

14.如权利要求13所述的人工长晶设备，其特征在于，该人工长晶设备根据所测得的熔汤表面流速控制一晶种升降装置。