[发明专利]阵列波导光栅波分复用器

权利要求书

1.一种阵列波导光栅波分复用器，其特征在于，包括基板、伸缩部、支撑部和阵列波导光栅芯片，所述伸缩部随着温度变化而伸缩；

所述阵列波导光栅芯片贴于所述基板上，所述基板和所述阵列波导光栅芯片分别被切割，所述基板被切割分成第一基板和第二基板，且所述第一基板和第二基板之间形成切割缝，所述阵列波导光栅芯片被切割分离成第一部分芯片和第二部分芯片，所述伸缩部连接所述第一基板和所述第二基板，所述伸缩部与所述切割缝的夹角不等于90°，所述支撑部连接所述第一基板和所述第二基板；

所述伸缩部随着温度变化而伸缩使得所述支撑部产生形变，进而使得所述第一基板和所述第二基板在所述切割缝方向产生相互错位移动、所述第一部分芯片和所述第二部分芯片在所述切割缝方向产生相互错位移动。

2.根据权利要求1所述的阵列波导光栅波分复用器，其特征在于，所述阵列波导光栅芯片包括输入波导、输入平板波导、阵列波导、输出平板波导和输出波导，所述阵列波导光栅芯片被切割缝切割分离具体为：所述输入平板波导或所述输出平板波导被所述切割缝切割分离。

3.根据权利要求1所述的阵列波导光栅波分复用器，其特征在于，所述支撑部为两根热膨胀系数一致、细长均匀且相互平行的细杆。

4.根据权利要求3所述的阵列波导光栅波分复用器，其特征在于，所述第一基板、所述第二基板和所述两根相互平行的细杆结合形成“工”字型缝隙，其中所述切割缝作为所述“工”字型缝隙的中间的竖向缝隙。

5.根据权利要求1所述的阵列波导光栅波分复用器，其特征在于，所述基板和所述支撑部一起为整体结构。

6.根据权利要求1所述的阵列波导光栅波分复用器，其特征在于，所述基板材质为金属。

7.根据权利要求6所述的阵列波导光栅波分复用器，其特征在于，所述金属为铟瓦合金或科瓦合金。

8.根据权利要求1所述的阵列波导光栅波分复用器，其特征在于，所述伸缩杆材质为金属。

9.根据权利要求8所述的阵列波导光栅波分复用器，其特征在于，所述金属为铝或铝合金。