[发明专利]一种等离子发生装置及等离子处理装置

权利要求书

1.一种等离子发生装置，包括：

四角形金属上板，沿第一方向及跨过第一方向的第二方向形成以矩阵形式排列的多个贯通孔；

多个绝缘板，分别安装在所述金属上板的贯通孔上；

天线结构体，设置于所述多个绝缘板的上部；

沿所述第一方向排列的绝缘板的数为3以上，而沿所述第二方向排列的绝缘板的数为3以上，

所述天线结构体，包括：

多个第一型天线结构体，接近于所述金属上板的边缘的绝缘板而设置；

多个第二型天线结构体，接近于所述金属上板的边的绝缘板而设置；

至少一个以上的第三型天线结构体，由所述第一型天线结构体及所述第二型天线结构体围绕而成，并且设置于所述金属上板的内侧；

其中，所述第一型天线结构体比所述第二型天线结构体消耗更多的电力。

2.根据权利要求1所述的一种等离子发生装置，其特征在于：所述第二型天线结构体比所述第三型天线结构体消耗更多电力。

3.根据权利要求1所述的一种等离子发生装置，其特征在于：所述第一型天线结构体相互电串联，而所述第二型天线结构体相互电并联。

4.根据权利要求1所述的一种等离子发生装置，其特征在于：所述第一型天线结构体、所述第二型天线结构体及所述第三型天线结构体中的至少一个形成于印刷电路板或由导线弯曲形成。

5.根据权利要求4所述的一种等离子发生装置，其特征在于：所述印刷电路板为双面基板，而所述天线结构体包括金、银、铜、镍、锡中的至少一种。

6.根据权利要求1所述的一种等离子发生装置，其特征在于：所述第一型天线结构体、所述第二型天线结构体及所述第三型天线结构体具有相同形状。

7.根据权利要求1所述的一种等离子发生装置，其特征在于：还包括与所述第一型天线结构体电串联的第一电抗元件、与所述第二型天线结构体电串联的第二电抗元件、及所述第三型天线结构体电串联的第三电抗元件中的至少一个。

8.根据权利要求7所述的一种等离子发生装置，其特征在于：所述第一电抗元件、第二电抗元件及第三电抗元件，包括可变电抗元件。

9.根据权利要求7所述的一种等离子发生装置，其特征在于：流经所述第一型天线结构体各天线结构体的第一电流大于流经所述第二型天线结构体各天线结构体的第二电流，而流经所述第二型天线结构体各天线结构体的第二电流大于流经所述第三型天线结构体各天线结构体的第三电流。

10.根据权利要求1所述的一种等离子发生装置，其特征在于：还包括向所述天线结构体提供电力的电源部，而所述电源部电串联于所述第一型天线结构体、所述第二型天线结构体及所述第三型天线结构体。

11.根据权利要求1所述的一种等离子发生装置，其特征在于：还包括向所述天线结构体提供电力的多个电源部，其中，第一电源部向所述第一型天线结构体提供电力，第二电源部向所述第二型天线结构体提供电力，而第三电源部向所述第三型天线结构体提供电力。

12.根据权利要求11所述的一种等离子发生装置，其特征在于：所述第一电源部的第一驱动频率、所述第二电源部的第二驱动频率及所述第三电源部的第三驱动频率中的至少一个互相不同。

13.根据权利要求1所述的一种等离子发生装置，其特征在于：所述第一型天线结构体、所述第二型天线结构体及所述第三型天线结构体中的至少一个具有不同的结构。

14.根据权利要求1所述的一种等离子发生装置，其特征在于：所述第一型天线结构体、所述第二型天线结构体及所述第三型天线结构体具有四角形形状及双层结构。

15.根据权利要求1所述的一种等离子发生装置，其特征在于：所述第一型天线结构体、所述第二型天线结构体及所述第三型天线结构体各由多个辅助天线构成，且设置成在相同平面形成闭环。