[发明专利]多级真空炉

说明书

技术领域

本发明涉及真空设备领域，特别是涉及一种多级真空炉。

背景技术

真空炉即在炉腔这一特定空间内利用真空系统将炉腔内部分物质排出，使炉腔内压强小于一个标准大气压，炉腔内空间从而实现真空状态，这就是真空炉。由于内部真空，采用该设备加热具有无氧化无污染温度控制精确能耗小等优点，通常，真空炉为单级式真空炉，外部直接与空气接触，由于气体泄漏和大气压差等原因使得炉内真空度较差，使得一些对于气压敏感的处理过程无法进行。

发明内容

本发明主要解决的技术问题是提供一种多级真空炉，通过设置多层真空的方式，提高内侧炉体的真空度；通过在内侧炉壁涂布银涂层，提高辐射反射率，降低能耗；在内炉壁涂布银涂层和在外炉壁设置隔热层，提高隔热能力；具有可靠性能高、真空能力好、结构紧凑、工艺适应性好、隔热能力好，能耗低等优点，同时在真空处理领域有着广泛的市场前景。

为解决上述技术问题，本发明采用的一个技术方案是：提供一种多级真空炉，包括：外炉体、内炉体，炉盖、内抽气机、外抽气机、内真空管、外真空管、支架、送料管和加热炉，内炉体下方设置有内真空管，内真空管与内抽气机连接，外炉体下方设置有外真空管，外真空管与外抽气机连接，内炉体四周设置有支架，支架另一端与外炉体连接，内炉体内设置有加热炉，内炉体上方还设置有送料管，炉盖设置在内炉体上方。

在本发明一个较佳实施例中，所述内炉体内壁镀有银反射层，内炉体内壁设置有陶瓷制坩埚支架。

在本发明一个较佳实施例中，所述外炉体内壁贴有绝热层。

在本发明一个较佳实施例中，所述加热炉为电磁加热炉，加热炉体为耐高温陶瓷制。

本发明的有益效果是：本发明多级真空炉通过设置多层真空的方式，提高内侧炉体的真空度；通过在内侧炉壁涂布银涂层，提高辐射反射率，降低能耗；在内炉壁涂布银涂层和在外炉壁设置隔热层，提高隔热能力；具有可靠性能高、真空能力好、结构紧凑、工艺适应性好、隔热能力好，能耗低等优点，同时在真空处理领域有着广泛的市场前景。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图，其中：

图1是本发明的多级真空炉一较佳实施例的结构示意图；

附图中各部件的标记如下：1、外炉体，2、内炉体，3，炉盖，4、内抽气机，5、外抽气机，6、内真空管，7、外真空管，8、支架，9、送料管，10、加热炉，11、绝热层。

具体实施方式

下面将对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1，本发明实施例包括：

一种多级真空炉，包括：外炉体1、内炉体2，炉盖3、内抽气机4、外抽气机5、内真空管6、外真空管7、支架8、送料管9和加热炉10，内炉体2下方设置有内真空管6，内真空管6与内抽气机4连接，外炉体1下方设置有外真空管7，外真空管7与外抽气机5连接，内炉体2四周设置有支架8，支架8另一端与外炉体1连接，内炉体2内设置有加热炉10，内炉体2上方还设置有送料管9，炉盖3设置在内炉体2上方。

所述内炉体2内壁镀有银反射层，内炉体2内壁设置有陶瓷制坩埚支架。

所述外炉体1内壁贴有绝热层11。

所述加热炉10为电磁加热炉，加热炉体为耐高温陶瓷制。

本发明多级真空炉的有益效果是：

一、通过设置多层真空的方式，提高内侧炉体的真空度；

二、通过在内侧炉壁涂布银涂层，提高辐射反射率，降低能耗；

三、在内炉壁涂布银涂层和在外炉壁设置隔热层，提高隔热能力；

四、具有可靠性能高、真空能力好、结构紧凑、工艺适应性好、隔热能力好，能耗低等优点，同时在真空处理领域有着广泛的市场前景。

以上所述仅为本发明的实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是利用本发明说明书内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其它相关的技术领域，均同理包括在本发明的专利保护范围内。