[发明专利]下开盖式长晶炉

权利要求书

1.下开盖式长晶炉，其特征在于，包括炉壳(1)、下盖(2)，炉壳(1)设有朝下的下开口(11)，所述下盖(2)配合下开口(11)设置，所述炉壳(1)内设有加热器(4)，所述加热器(4)与所述炉壳(1)之间设有隔热层(5)，所述加热器(4)内设有坩埚(6)，所述下盖(2)与所述坩埚(6)之间设有热交换器(7)，所述热交换器(7)位于所述坩埚(6)底部放置晶籽的位置。

2.根据权利要求1所述的下开盖式长晶炉，其特征在于，还包括升降装置(3)，所述升降装置(3)包括支架(31)、可转动设置于所述支架(31)的丝杆(32)、带动所述丝杆(32)转动的动力装置(33)，所述下盖(2)固定有螺套(34)，所述螺套(34)设有配合所述丝杆(32)的内螺纹，所述螺套(34)套设所述丝杆(32)。

3.根据权利要求2所述的下开盖式长晶炉，其特征在于，所述丝杆(32)的数目为多个，所述下盖(2)设有与所述丝杆(32)一一对应的多个螺套(34)。

4.根据权利要求3所述的下开盖式长晶炉，其特征在于，还包括齿轮副，所述动力装置(33)通过所述齿轮副带动所述丝杆(32)。

5.根据权利要求4所述的下开盖式长晶炉，其特征在于，所述齿轮副为包括固定于所述丝杆(32)的蜗轮和连接所述动力装置(33)输出轴的蜗杆。

6.根据权利要求5所述的下开盖式长晶炉，其特征在于，还包括软轴(35)，所述动力装置(33)的数目为1，所述动力装置(33)的输出轴连接多个所述齿轮副中的一个齿轮副的蜗杆的一端，所述蜗杆的另一端与其他齿轮副顺次通过软轴(35)连接。

7.根据权利要求6所述的下开盖式长晶炉，其特征在于，所述支架(31)设有滑套(36)，所述丝杆(32)设有配合所述滑套(36)的滑动轴(37)，所述滑动轴(37)插装所述滑套(36)并保持可以转动。

8.根据权利要求7所述的下开盖式长晶炉，其特征在于，还包括联轴器(38)，所述联轴器(38)设置于所述动力装置(33)或软轴(35)与蜗杆之间。

9.根据权利要求1所述的下开盖式长晶炉，其特征在于，所述热交换器(7)包括设置于所述下盖(2)外部的冷却介质进口(71)和冷却介质出口(72)、设置于所述坩埚(6)底部放置晶籽位置的换热腔(73)、连通所述冷却介质进口(71)至所述换热腔(73)的进气通道(74)、连通所述换热腔(73)至冷却介质出口(72)的出气通道(75)。

10.根据权利要求9所述的下开盖式长晶炉，其特征在于，所述进气通道(74)插装于所述出气通道(75)。