[发明专利]一种半导体指纹识别传感器及其制造方法

权利要求书

1.一种半导体指纹识别传感器，其特征在于，包括感应区域、控制区域和接口区域；

所述感应区域、所述控制区域和所述接口区域通信连接；

所述感应区域感应的指纹信息发送至所述控制区域，所述控制区域处理后通过所述接口区域输出；

所述感应区域包括依序固定的绝缘层、走线层、基板层和保护层，所述走线层嵌入所述绝缘层与基板层之间，在所述基板层上与所述保护层接触的一面设置有传感器阵列，在所述基板层上设置有与所述传感器阵列对应的过孔，所述传感器阵列通过所述过孔与所述走线层的传感引线电路电连接。

2.如权利要求1所述的半导体指纹识别传感器，其特征在于，所述绝缘层和基板层采用柔性绝缘材料制成。

3.如权利要求1所述的半导体指纹识别传感器，其特征在于，所述传感器阵列由高导电率材料制成。

4.如权利要求1所述的半导体指纹识别传感器，其特征在于，所述保护层采用高介电常数高硬度材料制成。

5.如权利要求1所述的半导体指纹识别传感器，其特征在于，所述控制区域包括依序固定的绝缘层、走线层和基板层，所述走线层嵌入所述绝缘层与基板层之间；

在所述基板层上远离绝缘层的一面设置有若干个焊点，若干个焊点组成焊盘，在所述基板层上设置有与焊点对应的焊盘过孔，所述焊点通过所述焊盘过孔与所述走线层的传感引线电路电连接。

6.如权利要求1所述的半导体指纹识别传感器，其特征在于，所述控制区域焊接有指纹识别传感集成电路。

7.如权利要求1所述的半导体指纹识别传感器，其特征在于，所述接口区域包括依序固定的绝缘层、走线层和基板层，所述走线层嵌入所述绝缘层与基板层之间，在所述基板层上远离绝缘层的一面设置有若干个接口触片，在所述基板层上设置有与接口触片对应的接口过孔，接口触片通过所述接口过孔与所述走线层的传感引线电路电连接。

8.如权利要求1-7任意一项所述的半导体指纹识别传感器，其特征在于，所述半导体指纹识别传感器还设置有静电防护环，所述静电防护环环绕所述感应区域。

9.如权利要求8所述的半导体指纹识别传感器，其特征在于，所述静电防护环上设计有缺口。

10.一种制造半导体指纹识别传感器的方法，其特征在于，在柔性基板上制作半导体感应区域、控制区域和接口区域，具体包括下列步骤：

按尺寸裁切柔性基板；

在裁切好的柔性基板上钻通孔，在基板表面金属化处理使基板表面形成金属层，使通孔金属化形成过孔；

在金属层上压感光膜层，通过紫外线曝光、显影液显影和刻蚀液刻蚀及剥离后在形成走线层的传感引线电路；

在传感引线电路上涂覆绝缘层；

在基板远离走线层的表面清洗后电镀传感器阵列、集成电路焊盘和接口触片分别形成感应区域、控制区域和接口区域；

在柔性基板上表面沉积高硬度耐磨材料形成保护层。