[发明专利]基于正交偏振光的多通道白光共路干涉显微层析系统有效
申请号: | 201410317839.8 | 申请日: | 2014-07-03 |
公开(公告)号: | CN104089573B | 公开(公告)日: | 2017-03-15 |
发明(设计)人: | 王翰林 | 申请(专利权)人: | 佛山市南海区欧谱曼迪科技有限责任公司 |
主分类号: | G01B9/04 | 分类号: | G01B9/04;G01B11/24;G02B21/00 |
代理公司: | 佛山市南海智维专利代理有限公司44225 | 代理人: | 梁国杰 |
地址: | 528200 广东省佛山市南海区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 基于 正交 偏振光 通道 白光 干涉 显微 层析 系统 | ||
1.一种基于正交偏振光的多通道白光共路干涉显微层析系统,包括相差显微镜,其特征在于:设在所述相差显微镜的物镜后焦面的为共轭面的偏振方向与补偿面的偏振方向正交的偏振板,在相差显微镜的成像面后面设有空域相移干涉模块。
2.根据权利要求1所述的基于正交偏振光的多通道白光共路干涉显微层析系统,其特征在于:所述空域相移干涉模块包括顺着光学路径布设的
相位调整装置,置于相差显微镜的成像面后面,用以将两束正交偏振的物光和参考光变为平行于和垂直于入射面的均含调制测量光和参考光的两束同向偏振光,形成相位差为180°的两个干涉光场;
分光透镜组,用以将正交偏振光分解为传输方向相互垂直的两路;
四分之一波片,设在其中一分路上,用以将线偏振光变成圆偏振光;
偏振分束器,设在每一分路的出光透镜后,用以将偏振光分解为传输方向相互垂直的两路;以及
图像传感器,分别设在经偏振分束器分成的至少三路光学路径的成像面上。
3.根据权利要求2所述的基于正交偏振光的多通道白光共路干涉显微层析系统,其特征在于:所述相位调整装置为半波片。
4.根据权利要求2所述的基于正交偏振光的多通道白光共路干涉显微层析系统,其特征在于:所述分光透镜组包括顺着光学路径布设的
第一傅立叶透镜,置于相位调整装置后面;
非偏振分束器,置于第一傅立叶透镜后面,用以将正交偏振光分解为传输方向相互垂直的两路;
第二傅立叶透镜,分别设在经非偏振分束器分成的每一分路光学路径上,与第一傅立叶透镜构成4f系统,四分之一波片则设在其中一路的非偏振分束器与第二傅立叶透镜之间,用以将线偏振光变成圆偏振光。
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