[发明专利]一种测试器件群测试键有效
申请号: | 201410318557.X | 申请日: | 2014-07-04 |
公开(公告)号: | CN105448890B | 公开(公告)日: | 2018-04-17 |
发明(设计)人: | 柯其勇;孙鲁男;游方伟;王俊闵 | 申请(专利权)人: | 上海和辉光电有限公司 |
主分类号: | H01L23/544 | 分类号: | H01L23/544 |
代理公司: | 北京律智知识产权代理有限公司11438 | 代理人: | 姜怡,阚梓瑄 |
地址: | 201500 上海市金山区*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 测试 器件 | ||
1.一种测试器件群测试键,其特征在于,包括:
场效应晶体管,具有源极、栅极和漏极;
源极测试垫,电性连接到所述源极;
栅极测试垫,电性连接到所述栅极;
漏极测试垫,电性连接到所述漏极;
第一二极管组,电性连接到所述源极测试垫和所述栅极测试垫之间,其中所述第一二极管组由多个二极管连接而成,使得从所述源极测试垫到所述栅极测试垫方向上因存在有反向连接的二极管而不导通,并且同时从所述栅极测试垫到所述源极测试垫方向上也因存在有反向连接的二极管而不导通;以及
第二二极管组,电性连接到所述漏极测试垫和所述栅极测试垫之间,其中所述第二二极管组由多个二极管连接而成,使得从所述漏极测试垫到所述栅极测试垫方向上因存在有反向连接的二极管而不导通,并且同时从所述栅极测试垫到所述漏极测试垫方向上也因存在有反向连接的二极管而不导通,
其中所述第一二极管组和所述第二二极管组中的每一个至少包括两个反向串联的二极管。
2.根据权利要求1所述的测试器件群测试键,其中,
所述第一二极管组和所述第二二极管组分别是由多个二极管串联形成。
3.根据权利要求1所述的测试器件群测试键,其中,
所述第一二极管组和所述第二二极管组分别是由多个二极管串联后再并联形成。
4.根据权利要求1所述的测试器件群测试键,其中,
所述第一二极管组和所述第二二极管组分别是由两个二极管反向串联形成。
5.根据权利要求4所述的测试器件群测试键,其中,
所述第一二极管组和所述第二二极管组中任何一个所包括的所述两个二极管还串联有限流电阻。
6.根据权利要求5所述的测试器件群测试键,其中,
所述第一二极管组和所述第二二极管组中任何一个所包括的所述两个二极管是齐纳二极管。
7.根据权利要求1所述的测试器件群测试键,其中,
所述场效应晶体管是薄膜场效应晶体管。
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