[发明专利]一种宽禁带半导体功率器件的带宽测试装置及方法

权利要求书

1.一种宽禁带半导体功率器件的带宽测试装置，其特征在于：主要包括锁相环频率信号合成电路、稳幅控制电路、调制电路、延时电路、信号源、实时功率监控、相关检测、积分电路、模数转换器、CPU电路、自动增益控制电路、温度相位控制电路、时基发生电路等；所述锁相环频率信号合成电路输出端与稳幅控制电路输入端连接，稳幅控制电路输出端与调制电路输入端连接，调制电路输出端与信号源电路输入端连接，信号源电路输出端与实时功率监控电路输入端连接，实时功率监控电路输出端与被测半导体器件输入端连接，被测半导体器件输出信号接入相关检测电路；同时，调制电路输出端与延时电路输入端连接，延时电路输出信号也接入相关检测电路；被测半导体器件输出信号与延时电路输出信号经相关检测电路处理后，其输出信号接入积分电路，积分电路输出端与数模转换器输入端连接，数模转换器与CPU处理单元进行通信并受其控制，CPU处理单元还对锁相环频率信号合成电路进行控制；另外，时基发生电路为锁相环频率信号合成电路提供所需的时基信号，自动增益控制单元使稳幅控制电路实现信号幅度稳定，温度、相位控制单元实现信号源的温度稳定性和相位稳定性。

2.根据权利要求1所述的一种宽禁带半导体功率器件的带宽测试方法，其特征在于：锁相环频率信号合成电路在CPU的控制下合成测试所需的正弦频率信号，经过具有自动增益电平功能的稳幅控制电路后，通过调制电路进行信号调制，再通过具有温度、相位控制功能的信号源电路进行处理，经过实时功率监控电路进行信号功率检测、控制后，得到测试中被测半导体器件所需的激励调制信号，被测半导体器件对此产生相应的输出正弦电信号，同时，调制电路输出的调制信号经过延时电路的延时、整形后输出相应的调制参考信号，然后，调制参考信号与被测半导体器件的输出正弦电信号进行自相关检测，该相关检测信号经过积分电路的积分输出电压即为该调制频率下的被测半导体器件的响应信号；被测半导体器件响应信号为模拟信号，经过模数转换器进行A/D转换后，产生能够被CPU识别的数字信号，送到CPU处理单元电路进行被测半导体器件对应的控制处理；在进行模拟带宽实际测量时，信号源输出电压校正的正弦信号发生器驱动，先在低信号频率（1kHz数量级）测量产品的输出电流，然后使信号频率逐步增加，增加调制频率直到被测半导体功率器件的响应达到规定要求，即直到所测量的电流下降至低信号频率的0.70倍为止、此时所对应的频率是半功率频率或3dB下降频率，即可得到被测半导体功率器件的模拟带宽。