[发明专利]压电器件及压电器件的制造方法

权利要求书

1.一种压电器件，其特征在于包括：

压电振动片，形成着电极；

基底，保持所述压电振动片；

第一盖板，在将所述压电振动片收容于空腔内的状态下接合于所述基底，且包含将所述空腔开口的开口部；及

第二盖板，以阻塞所述开口部的方式接合于所述第一盖板的表面侧；

所述开口部是形成于在俯视下包含所述压电振动片的除所述电极以外的区域、或除所述压电振动片以外的区域且重叠的位置。

2.根据权利要求1所述的压电器件，其特征在于：所述开口部是形成于沿着所述基底与所述第一盖板的接合部的位置。

3.根据权利要求1或2所述的压电器件，其特征在于：所述第二盖板是使用将所述第一盖板的表面整面覆盖的形状的盖板。

4.根据权利要求1或2所述的压电器件，其特征在于：所述第一盖板与所述第二盖板的接合是利用离子束活化接合法的接合，且其他接合是利用除离子束活化接合法以外的接合。

5.一种压电器件，其特征在于包括：

压电振动片，包含振动部、包围所述振动部的框部、及将所述振动部与所述框部连结的固定部，且至少在所述振动部形成着电极；

基底，接合于所述框部的里面侧；

第一盖板，接合于所述框部的表面侧，且包含将所述框部的内侧开口的开口部；及

第二盖板，以阻塞所述开口部的方式接合于所述第一盖板的表面侧；

所述开口部是形成于在俯视下包含所述振动部的除所述电极以外的区域、或除所述振动部以外的区域且重叠的位置。

6.根据权利要求5所述的压电器件，其特征在于：所述开口部是形成于沿着所述框部的位置。

7.根据权利要求5或6所述的压电器件，其特征在于：所述第二盖板是使用将所述第一盖板的表面整面覆盖的形状的盖板。

8.根据权利要求5或6所述的压电器件，其特征在于：所述第一盖板与所述第二盖板的接合是利用离子束活化接合法的接合，且其他接合是利用除离子束活化接合法以外的接合。

9.一种压电器件的制造方法，其是包含压电振动片的压电器件的制造方法，其特征在于包括：

载置步骤，将所述压电振动片载置于基底；

形成步骤，在第一盖板形成开口部；

第一接合步骤，将所述第一盖板接合于所述基底；以及

第二接合步骤，使用离子束活化接合法，以阻塞所述开口部的方式将第二盖板接合于所述第一盖板。

10.一种压电器件的制造方法，其是包含具有振动部及包围所述振动部的框部的压电振动片的压电器件的制造方法，其特征在于包括：

基底接合步骤，将基底接合于所述框部的里面侧；

形成步骤，在第一盖板形成开口部；

第一接合步骤，将所述第一盖板接合于所述框部的表面侧；及

第二接合步骤，使用离子束活化接合法，以阻塞所述开口部的方式将第二盖板接合于所述第一盖板。