[发明专利]带电粒子束系统及操作带电粒子束系统的方法

权利要求书

1.一种带电粒子束系统，包括：

带电粒子源；

带电粒子柱；

样品室；

多个电动装置，布置在所述带电粒子柱、所述带电粒子源和所述样品室之一内或之一处；

至少一个第一转换器，将AC电压转换为DC电压，其中，所述第一转换器定位成与所述带电粒子源、所述带电粒子柱和所述带电粒子室中任一个相距一距离，所述多个电动装置包括离子吸气泵和涡轮泵中的至少一个，并且

其中，所述多个电动装置的所有元件在所述带电粒子源运行期间运行时构造成仅由所述转换器提供的DC电压供能。

2.如权利要求1所述的带电粒子束系统，其中，所述第一转换器与所述带电粒子源、所述带电粒子柱和所述样品室中的每个之间的最小距离为至少2米。

3.如权利要求1或2所述的带电粒子束系统，所述系统还包括第二转换器，所述第二转换器构造成提供施加至所述带电粒子源的高压，所述第二转换器将所述第一转换器的输出DC电压转换为所述高压。

4.如权利要求1或2所述的带电粒子束系统，还包括：

具有大质量的桌台，所述样品室定位在所述桌台上；

第一振动隔离系统，位于所述桌台和地板之间，所述桌台定位在所述地板上；

第二振动阻尼系统，布置在所述桌台和所述样品室之间；

至少一个真空泵，功能上地连接到所述样品室、所述带电粒子源和所述带电粒子柱中的至少一个，

其中，所述至少一个真空泵布置在所述桌台处，并且

其中，所述真空泵经由至少一个柔性波纹管连接到所述样品室、所述带电粒子源和所述带电粒子柱中的至少一个。

5.如权利要求4所述的带电粒子束系统，其中，所述至少一个波纹管包括第一柔性波纹管部分、第二柔性波纹管部分以及位于所述第一柔性波纹管部分和所述第二柔性波纹管部分之间的硬管。

6.如权利要求4所述的带电粒子束系统，其中，所述桌台包括石板或混凝土板。

7.如权利要求4所述的带电粒子束系统，其中，所述粒子源包括气体场离子源。

8.如权利要求1或2所述的带电粒子束系统，其中：

所述带电粒子源是惰性气体场离子束源，

所述系统还包括限定第一真空区域和第二真空区域的壳体，其中，所述惰性气体场离子束源布置在所述第一真空区域内；

第一机械真空泵，功能上附接至所述第一真空区域；

离子吸气泵，附接至所述带电粒子柱；以及

气体供应器，附接至所述第一真空区域，构造成将惰性气体供应至所述惰性气体场离子束源。

9.如权利要求8所述的带电粒子束系统，其中，所述带电粒子柱定位在所述第一真空区域和邻近所述第一真空区域的所述样品室之间。

10.如权利要求8所述的带电粒子束系统，还包括控制器，其构造成在所述惰性气体场离子束源产生离子束时关闭所述离子吸气泵。

11.如权利要求10所述的带电粒子束系统，其中，所述控制器还构造成仅当所述第一真空区域内的压力低于预定压力值时启动所述离子吸气泵。

12.如权利要求8所述的带电粒子束系统，还包括加热器和控制器，该控制器构造成加热所述加热器以从所述离子吸气泵释放惰性气体原子。

13.如权利要求9所述的带电粒子束系统，还包括：法兰，所述离子吸气泵经由所述法兰附接至所述带电粒子束系统；以及阀，所述阀布置在所述离子吸气泵和所述带电粒子柱之间的所述法兰内。